1. Отключите электропитание детектора.

2. Открутите винт, расположенный на передней панели.

3. Снимите крышку, потянув ее вперед с основного шасси.

4. Открутите два стопорных винта, расположенных на передней нижней части шасси.

5. Потяните основное шасси вперед для его снятия с монтажного кронштейна в сборе.

6. Открутите 4 винта блока насоса.

7. Снимите два фиксатора и отключите трубки от коллектора.

8. Выньте блок насоса и снимите разъем с печатной платы.

9. Установите новый блок насоса, повторив описанные выше шаги в обратном порядке.

Сборка детектора

1. Выровняйте верхнюю заднюю часть печатной платы основного шасси с разъемом, расположенным на верхней части монтажного кронштейна в сборе.

2. Кроме того, выровняйте две трубки, распложенные на нижней задней части основного шасси с двумя трубками, расположенными на нижней части монтажного кронштейна в сборе.

3. Вставьте шасси в монтажный кронштейн в сборе таким образом, чтобы печатная плата, разъем и трубки вошли в свои места одновременно.

4. Убедитесь в том, что печатная плата, разъем и трубки надежно вошли в свои места, нажав на шасси в горизонтальном направлении назад от монтажного кронштейна в сборе (ВНИМАНИЕ: НЕ НАЖИМАЙТЕ НА ЖК-ДИСПЛЕЙ, ПОСКОЛЬКУ ЭТО МОЖЕТ ПРИВЕСТИ К ЕГО ПОВРЕЖДЕНИЮ).

5. Выровняйте два крепежных винта, расположенных на нижней части основного шасси с соответствующими резьбовыми отверстиями, находящимися на монтажном кронштейне в сборе.

6. Затяните винты для фиксации шасси на монтажном кронштейне в сборе.

7. Переведите выключатель питания, расположенный на терминальном модуле, в положение «on» (ВКЛ).

8. Установите на место крышку детектора, выровняв соответствующие вырезы с фиксаторами на монтажном кронштейне.

9. Вставьте крышку в горизонтальном направлении до конца.

10. Закрутите винт, расположенный на передней панели.

Установка/замена картриджа датчика

1. Открутите винт, расположенный на передней панели, и снимите крышку, потянув ее вперед с основного шасси (см. схему 22)

2. Убедитесь в том, что выключатель питания, расположенный на терминальном модуле, находится в положении off (ВЫКЛ)

3. Выньте старый картридж датчика из устройства (если установлен), сняв два фиксатора картриджа, расположенных на каждой из сторон, и потянув за эти фиксаторы для извлечения картриджа (см. схему 23).

4. Установите новый картридж датчика, выровняв контактные штыри в верхней части картриджа датчика с разъемами в камере картриджа датчика

5. Аккуратно подтолкните картридж датчика в его камеру до полного вхождения, зафиксируйте картридж датчика используя зажимы, расположенные по обоим сторонам картриджа датчика (см. схему 24)

6. Переведите выключатель питания, расположенный на терминальном модуле, в положение «on» (ВКЛ)

7. Установите на место крышку детектора, выровняв соответствующие вырезы с фиксаторами на монтажном кронштейне в сборе и горизонтально надавливая на крышку до полного вхождения. Закрутите винт, расположенный на передней панели (см. схему 25)

Повышать бездумно верхний порог не допускается, это приводит к появлению других ошибок – перед каждым осаждением система проверяет функционирование обоих датчиков PNOZ. Если порог будет чрезмерно высоким, датчик не сработает, появится ошибка.

PNOZ отслеживает давление по показаниям двух датчиков: TPR 281 и Baratron MKS 141А (реле вакуума в черном корпусе, не путать с камерным баратроном). В GUI их показания не выводятся. Измерительная емкость PNOZ форлинии Foreline установлен около вакуумных насосов на вакуумных трубопроводах; PNOZ камеры Chamber – на боковой стенке камеры РМ.

Логика проведения теста PNOZ

Cначала проверяется камерный PNOZ, затем PNOZ форлинии. В емкость подается азот, оба датчика должны сработать (стать серыми в GUI), зафиксироваться в этом состоянии на 3 сек.

Затем подача азота в емкость прекращается и оба датчика должны стать зелеными в GUI.

Зачастую один из датчиков не срабатывает, остается зеленым – нужно понизить порог его срабатывания.

Причины ошибки PNOZ

При появлении ошибки необходимо определить ее причину:

1. Реальное повышение давления на участке, ошибка возникает в процессе осаждения.
• Течь – течеискание
• Низкая эффективность вакуумного насоса – показания тока на экране насоса будут высокие, проверять на шаге нагрева, когда подается большое количество водорода
• Паразитная подача газа или подача газа без откачки – неправильная логика работы, действия в ручном режиме
2. Некорректные показания датчиков давления PNOZ (завышают реальные значения), ошибка возникает в процессе осаждения. Необходимо определить какой из датчиков не срабатывает – на контроллере, по поведению индикаторов, соответствующих датчикам давления. Заменить датчик давления или настроить верхний порог срабатывания датчика (повысить).
3. Чрезмерно завышен порог одного из датчиков давления PNOZ, ошибка возникает перед началом процесса осаждения, когда система проверяет функционирования PNOZ. Необходимо определить какой из датчиков не срабатывает – на контроллере, по поведению индикаторов, соответствующих датчикам давления. Настроить верхний порог срабатывания датчика (понизить).

Проверка и настройка текущего порога срабатывания датчиков давления PNOZ заключается в контролируемом повышении давления в интересуемом объеме (в камере РМ или реакторной линии модуля) до срабатывания датчика PNOZ. Процесс подготовки камеры или реакторной линии смотрим ниже.

При этом определяется какой из датчиков PNOZ (TPR 281 или Baratron MKS 141А) вызывает срабатывание M-Stop Gas – по поведению индикаторов, соответствующих датчикам давления.

За сработкой датчиков PNOZ можно следить:

1. на GUI (индикация PNOZ Камерный: PSH409 - TPR 281, PSH410 - Baratron MKS 141A, PNOZ Форлинии: PSH479 - TPR 281, PSH48 - Baratron MKS 141A). Индикатор либо погаснет (станет серым), либо моргнет. Мнемосхема PNOZ станет красным.
2. на входном модуле PILZ PSS A4922.1 (электрошкаф BPM). Погаснет индикация соответствующего входа модуля.

Настройка датчика TPR 281

Пороги срабатывания датчика TPR 218 настраиваются потенциометром порогового переключателя (RI 250 threshold switch) A4855.1 (шкаф BPM под рабочим модулем РМ)

Подключаемся вольтметром к контактам верхнего порога (черный и крайний левый красный контакт) и потенциометром верхнего порога (крайний левый синий блок) подстраиваем напряжение на контактах:

PNOZ Chamber A4855.1

Верхний порог для РМ1, 2, 3 (SP high): 6,5 В

Нижний порог для РМ1, 2, 3 (SP low): 6,3 В

PNOZ Foreline A4850.1

Верхний порог для РМ1, 2, 3 (SP high): 7,2 В

Нижний порог для РМ1 (SP low): 6,3 В

Нижний порог для РМ2, 3 (SP low): 6,5 В

Эти уровни для нового датчика. Со временем показания датчика "уходят", и датчик начинает "врать" в меньшую, либо большую сторону. В этом случае напряжение срабатывания нужно настраивать до исчезновения сигнала на входном модуле A4922.1. Давление в камере при этом необходимо держать на уровне 3.1 Е+0 мбар (3,1 мбар). Если датчик не сработал при давлении 3,1 мбар, то уставку нужно снижать, если сработал раньше - повышать.

Настройка датчика Baratron MKS 141A

Настройку порога срабатывания датчика Baratron MKS 141A надо проводить на самом датчике вращением потенциометра. Вращение по часовой стрелке увеличивает верхний порог срабатывания, против - уменьшает. Следить за моментом срабатывания датчика-реле можно по светодиоду на самом датчике. свечение светодиода сигнализирует о срабатывании реле. Т.е вращением потенциометра добиваемся "зажигания" светодиода на датчике при давлении 3.1 Е+0 мбар (3,1 мбар).

Подготовка для настройки PNOZ Chamber

Необходимо повысить давление в камере РМ до уровня 3-3,1 мбар.

1. Отваккумировать камеру рабочего модуля РМ

2. Перевести продувку камеры в режим «Foreline»

3. Закрыть клапана на линии вакуумирования камеры, реакторов

4. Закрыть 10 клапанов GIB (промежуточный газовый шкаф на рабочем модуле с клапанами подачи газа в реактора

5. Перейти на вкладку «Gasbox» (верхний левый угол GUI)

6. Открыть контроллер MFC N2 Backfilling (расходомер продувочного азота)

7. Задать значение потока азота на уровне 3 слм

8. Дождаться повышения давления в камере до уровня 3 мбар. Давление в камере отслеживать по показаниям камерного баратрона.

Одновременно с повышением потока следить за состоянием индикаторов контроллера PNOZ. Следить какой из датчиков PNOZ вызывает срабатывание и на каком давлении. Далее после обнаружения неисправного датчика его необходимо заменить, либо настроить его порог срабатывания.

Подготовка для настройка PNOZ Foreline

Необходимо повысить давление в реакторной линии до уровня 3-3,1 мбар.

Для повышения давления в реакторной линии:

1. Перевести Скруббер в режим «Depo».

2. «Vacuum Reactor» перевести в режим «Vacuum».

3. Открыть контроллер реакторного вакуумного насоса, перевести его в ручной режим управления и до конца процедуры оставить в ручном режиме.

Вписывать в поле «Setpoint» требуемую производительность насоса и нажимать «Enter» для ее ввода, дождаться пока значение «Actual» не станет равно уставке. Постепенно уменьшать обороты насоса: 100 – 80 – 60 - 45 – 35 – 30.

4. Убедиться, что 10 клапанов GIB открыты.

5. Перейти на вкладку «Gasbox». Открыть основной клапан подачи газов для осаждения YV671.

6. Открыть окно контроллера MFC Н2 (Gas5). Перейти в ручной режим управления MFC и до конца процедуры оставить в ручном режиме.

7. В столбце «Setpoint» строки «Gas Flow H2» вписать поток водорода, нажать «Enter» для ввода уставки по потоку. Постепенно повышать поток водорода: 0 – 15 – 30 – 45 – 60 – 70 – 80 – 85 – 90 – 95 – 96 – 97 – 98 – 99 – 100.

За давлением в форлинии следить по показаниям процессного баратрона.

Одновременно с повышением потока следить за состоянием индикаторов контроллера. Следить какой из датчиковPNOZ вызывает срабатывание и на каком давлении.

8. Далее после обнаружения неисправного датчика его необходимо заменить, либо повысить его порог срабатывания. См. выше.

9. По окончании настройки не переходить в автоматический режим. Необходимо в ручном режиме отключить подачу водорода, если она автоматически не прервалась.

10. В ручном режиме повысить обороты вакуумного насоса, делать это постепенно, чтобы не вызвать останов насоса: 30 – 40 – 50 – 65 – 80 – 90 – 100.

29.10.2020

Снят с КАИ1 РМ1 Р6 по причине сломанных керамических уголков (поломало паллетой при смещении - внутренний манипулятор уперся в провисшую паллету)

09.09.2020

Ремонт:

08.09.2020

Снят с КАИ5 РМ2 Р2 по причине обрыва цепи ТЭН

04.07.2020

Установлен в КАИ5 РМ3 Р8

25.06.2020

Ремонт

18.06.2020

Сняли с КАИ5 PM3 R10 по причине ошибок генератора плазмы

04.07.2020

Установлен в КАИ5 РМ3 Р4

26.06.2020

Ремонт

18.06.2020

Снят с КАИ5 РМ2 Р10 по причине низкого качества ячеек (пыль на ячейках)

26.08.2020

Ремонт:

24.08.2020

Снят с КАИ6 РМ2 Р4 на переборку по причине ошибок поджига водородной плазмы на мощности 2500 Вт.

11.05.2020

Установлен в КАИ6 РМ2 Р4

07.05.2020

Ремонт

02.05.2020

Снят с КАИ8 РМ3 Р7 по причине ячеек низкого качества

08.09.2020

Установлен в КАИ5 РМ2 Р2

25.08.2020

Ремонт:

Обнаружено:

24.08.2020

Снят с КАИ6 РМ2 Р3 на переборку по причине ошибок поджига водородной плазмы мощности 2500 Вт.

24.08.2020

Установлен в КАИ6 РМ2 Р3

20.08.2020

Ремонт:

Обнаружено:

18.08.2020

Снят с КАИ6 РМ3 Р7 на переборку по причине ошибок поджига водородной плазмы мощностью 2500 Вт