Настройка датчиков PNOZ
Ошибка M-Stop Gas на КАИ означает превышение регистрируемого давления выше порогового, которое должно быть на уровне 3 мбар.
Повышать бездумно верхний порог не допускается, это приводит к появлению других ошибок – перед каждым осаждением система проверяет функционирование обоих датчиков PNOZ. Если порог будет чрезмерно высоким, датчик не сработает, появится ошибка.
PNOZ отслеживает давление по показаниям двух датчиков: TPR 281 и Baratron MKS 141А (реле вакуума в черном корпусе, не путать с камерным баратроном). В GUI их показания не выводятся. Измерительная емкость PNOZ форлинии Foreline установлен около вакуумных насосов на вакуумных трубопроводах; PNOZ камеры Chamber – на боковой стенке камеры РМ.
Логика проведения теста PNOZ
Cначала проверяется камерный PNOZ, затем PNOZ форлинии. В емкость подается азот, оба датчика должны сработать (стать серыми в GUI), зафиксироваться в этом состоянии на 3 сек.
Затем подача азота в емкость прекращается и оба датчика должны стать зелеными в GUI.
Зачастую один из датчиков не срабатывает, остается зеленым – нужно понизить порог его срабатывания.
Причины ошибки PNOZ
При появлении ошибки необходимо определить ее причину:
- Реальное повышение давления на участке, ошибка возникает в процессе осаждения.
- Течь – течеискание
- Низкая эффективность вакуумного насоса – показания тока на экране насоса будут высокие, проверять на шаге нагрева, когда подается большое количество водорода
- Паразитная подача газа или подача газа без откачки – неправильная логика работы, действия в ручном режиме
- Некорректные показания датчиков давления PNOZ (завышают реальные значения), ошибка возникает в процессе осаждения. Необходимо определить какой из датчиков не срабатывает – на контроллере, по поведению индикаторов, соответствующих датчикам давления. Заменить датчик давления или настроить верхний порог срабатывания датчика (повысить).
- Чрезмерно завышен порог одного из датчиков давления PNOZ, ошибка возникает перед началом процесса осаждения, когда система проверяет функционирования PNOZ. Необходимо определить какой из датчиков не срабатывает – на контроллере, по поведению индикаторов, соответствующих датчикам давления. Настроить верхний порог срабатывания датчика (понизить).
Проверка и настройка текущего порога срабатывания датчиков давления PNOZ заключается в контролируемом повышении давления в интересуемом объеме (в камере РМ или реакторной линии модуля) до срабатывания датчика PNOZ. Процесс подготовки камеры или реакторной линии смотрим ниже.
При этом определяется какой из датчиков PNOZ (TPR 281 или Baratron MKS 141А) вызывает срабатывание M-Stop Gas – по поведению индикаторов, соответствующих датчикам давления.
За сработкой датчиков PNOZ можно следить:
- на GUI (индикация PNOZ Камерный: PSH409 - TPR 281, PSH410 - Baratron MKS 141A, PNOZ Форлинии: PSH479 - TPR 281, PSH48 - Baratron MKS 141A). Индикатор либо погаснет (станет серым), либо моргнет. Мнемосхема PNOZ станет красным.
- на входном модуле PILZ PSS A4922.1 (электрошкаф BPM). Погаснет индикация соответствующего входа модуля.
Настройка датчика TPR 281
Пороги срабатывания датчика TPR 218 настраиваются потенциометром порогового переключателя (RI 250 threshold switch) A4855.1 (шкаф BPM под рабочим модулем РМ)
Подключаемся вольтметром к контактам верхнего порога (черный и крайний левый красный контакт) и потенциометром верхнего порога (крайний левый синий блок) подстраиваем напряжение на контактах:
PNOZ Chamber A4855.1
Верхний порог для РМ1, 2, 3 (SP high): 6,5 В
Нижний порог для РМ1, 2, 3 (SP low): 6,3 В
PNOZ Foreline A4850.1
Верхний порог для РМ1, 2, 3 (SP high): 7,2 В
Нижний порог для РМ1 (SP low): 6,3 В
Нижний порог для РМ2, 3 (SP low): 6,5 В
Эти уровни для нового датчика. Со временем показания датчика "уходят", и датчик начинает "врать" в меньшую, либо большую сторону. В этом случае напряжение срабатывания нужно настраивать до исчезновения сигнала на входном модуле A4922.1. Давление в камере при этом необходимо держать на уровне 3.1 Е+0 мбар (3,1 мбар). Если датчик не сработал при давлении 3,1 мбар, то уставку нужно снижать, если сработал раньше - повышать.
Настройка датчика Baratron MKS 141A
Настройку порога срабатывания датчика Baratron MKS 141A надо проводить на самом датчике вращением потенциометра. Вращение по часовой стрелке увеличивает верхний порог срабатывания, против - уменьшает. Следить за моментом срабатывания датчика-реле можно по светодиоду на самом датчике. свечение светодиода сигнализирует о срабатывании реле. Т.е вращением потенциометра добиваемся "зажигания" светодиода на датчике при давлении 3.1 Е+0 мбар (3,1 мбар).
Подготовка для настройки PNOZ Chamber
Необходимо повысить давление в камере РМ до уровня 3-3,1 мбар.
- Отваккумировать камеру рабочего модуля РМ
2. Перевести продувку камеры в режим «Foreline»
3. Закрыть клапана на линии вакуумирования камеры, реакторов
4. Закрыть 10 клапанов GIB (промежуточный газовый шкаф на рабочем модуле с клапанами подачи газа в реактора
5. Перейти на вкладку «Gasbox» (верхний левый угол GUI)
6. Открыть контроллер MFC N2 Backfilling (расходомер продувочного азота)
7. Задать значение потока азота на уровне 3 слм
8. Дождаться повышения давления в камере до уровня 3 мбар. Давление в камере отслеживать по показаниям камерного баратрона.
Одновременно с повышением потока следить за состоянием индикаторов контроллера PNOZ. Следить какой из датчиков PNOZ вызывает срабатывание и на каком давлении. Далее после обнаружения неисправного датчика его необходимо заменить, либо настроить его порог срабатывания.
Подготовка для настройка PNOZ Foreline
Необходимо повысить давление в реакторной линии до уровня 3-3,1 мбар.
Для повышения давления в реакторной линии:
1. Перевести Скруббер в режим «Depo».
2. «Vacuum Reactor» перевести в режим «Vacuum».
3. Открыть контроллер реакторного вакуумного насоса, перевести его в ручной режим управления и до конца процедуры оставить в ручном режиме.
Вписывать в поле «Setpoint» требуемую производительность насоса и нажимать «Enter» для ее ввода, дождаться пока значение «Actual» не станет равно уставке. Постепенно уменьшать обороты насоса: 100 – 80 – 60 - 45 – 35 – 30.
4. Убедиться, что 10 клапанов GIB открыты.
5. Перейти на вкладку «Gasbox». Открыть основной клапан подачи газов для осаждения YV671.
6. Открыть окно контроллера MFC Н2 (Gas5). Перейти в ручной режим управления MFC и до конца процедуры оставить в ручном режиме.
7. В столбце «Setpoint» строки «Gas Flow H2» вписать поток водорода, нажать «Enter» для ввода уставки по потоку. Постепенно повышать поток водорода: 0 – 15 – 30 – 45 – 60 – 70 – 80 – 85 – 90 – 95 – 96 – 97 – 98 – 99 – 100.
За давлением в форлинии следить по показаниям процессного баратрона.
Одновременно с повышением потока следить за состоянием индикаторов контроллера. Следить какой из датчиков PNOZ вызывает срабатывание и на каком давлении.
8. Далее после обнаружения неисправного датчика его необходимо заменить, либо повысить его порог срабатывания. См. выше.
9. По окончании настройки не переходить в автоматический режим. Необходимо в ручном режиме отключить подачу водорода, если она автоматически не прервалась.
10. В ручном режиме повысить обороты вакуумного насоса, делать это постепенно, чтобы не вызвать останов насоса: 30 – 40 – 50 – 65 – 80 – 90 – 100.
