Проектирование защитного слоя

Защитный слой необходим для предохранения пленочных элементов схемы от внешнего воздействия и предохранения выводов активных элементов от короткого замыкания с пленочными проводниками.

Защитным слоем обязательно должны быть покрыты элементы схемы, к точности которых предъявляются требования, и обязательно не покрыты контактные площадки.

Если контактную площадку необходимо разместить в середине подложки (а), то в маске защитного слоя над ней должен быть материал маски. В этом случае необходимо использовать составную маску (б и в)

Защитный слой выполняется из любой диэлектрической пленки, кроме пятиокиси тантала, т. к. она получается напылением тантала и последующим его окислением.

Назад к содержанию >>>