Пленочные RC-структуры

Пленочные RC- структуры получены в результате интеграции конденсатора и резистора. Конструктивно пленочная структура отличается от пленочного конденсатора тем, что одну из обкладок (обычно верхнюю) выполняют из резистивного материала с большим удельным сопротивлением (рис.4).

Основными параметрами RC-структуры являются полное сопротивление R и полная емкость С, а также параметры, характеризующие свойства пленок резистора, пленочного конденсатора и диэлектрика.

Электрические параметры и характеристики RC-структур зависят от геометрической конфигурации и размеров пленок, их электрофизических параметров, расположения контактов и способа коммутации их между собой. Контур поверхности RC-структуры может иметь различную форму, в том числе прямоугольную (рис.1,а), зигзагообразную (рис.1,б) и экспоненциальную (рис.1,в).

Свойства RC-структур можно описать с помощью линейных дифференциальных уравнений, аналогичных известному телеграфному уравнению, характеризующему распространение сигнала в длинной линии передачи, а саму RCструктуру рассматривать, как пассивную линейную цепь в виде последовательного соединения бесконечно большого числа элементарных ячеек. Эквивалентная схема элементарной ячейки приведена на рис.2, где R1 и С1 - распределенные на единицу длины сопротивление и емкость.

Рисунок 1
Рисунок 2

В ряде случаев для приближенных расчетов в ограниченной полосе частот и при заданной точности удобно пользоваться эквивалентными схемами RCструктуры, представляющими собой цепь с сосредоточенными параметрами и содержащими небольшое число элементарных ячеек.

Наибольшее распространение получили прямоугольные RC-структуры, способы включения и амплитудно - частотные характеристики которых приведены в табл.1. Передаточные характеристики RC-структуры имеют частотно-зависимый характер, поэтому RC- структуры нашли применение при построении пассивных и активных фильтров.