Работы на KAI1 и ABB1 (Обновлено: 24.07.23 Открыто: 11.06.23 )

Оглавление:

11.06.23 Замена сильфонов ТМРМ 6 шт. на китайские Seal Tech.

27.12.21 Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3

22.08.18 РМ2 Р5 установили реактор с защитными шайбами: 695-S-1200 WIN 19

11.06.23 Плановый останов для проведения ПГТО. Замена сильфонов ТМРМ 6 шт. на китайские Seal Tech. Замена отсечного затвора PM2 YV423.

23.04.23 Запуск

20.04.23 Останов на ТО. Замена отсечного вакуумного затвора КАИ1 РМ2 YV422 - не срабатывает конечник закрытого положения

18.03.23 Течь сильфона привода затворов РМ3 (5-ой) - Замена. Ремонт реактора РМ2: R1: сломан пин 4.4

08.03.23 Течеискание - течь азотных подушек (левая сторона) - Заменили пневматический уплотнитель на 5 затворе LL-TM

* Историю ремонта смотри ниже.

*чек-листы в сейфе

• КАИ:
• Июнь — ПГТО (Проведено 11.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО
• РОБОТ:
• Июнь — КТО (Проведено 11.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО

1. Заменить реактор РМ2 Р1 - подозрение на низкое качество ячеек с этого реактора. Периодические выпады по низкому времени жизни.

#In the process of updating

1. Заменить отсечные вакуумные затворы, если наработка больше года (или нет записей на самих клапанах)

1. Заменить быстросъёмные соединения на генераторе РМ1 Г5, продуть контур охлаждения генератора, проверить клапан на подаче воды.

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

24.06.23 - Заменили сильфон стека на клееный (стоял новый от 15.02.23 - срок 129 дней)

11.06.23 - Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23) планово

05.08.22 — Замена сильфона охлаждения на новую систему охлаждения LL (шланги)

#In the process of updating

#In the process of updating

31.01.23 Течь сильфона привода затворов РМ3 (6-ой) - Замена

05.01.23 Встал ВМ перед РМ2 (без паллет).

Ремонт: При подключении к частотному преобразователю радиального перемещения нет отклика от частотного преобразователя в программе диагностики (программа выдает ошибку коммуникации). Перезапущен частотный привод питанием, данные в программе диагностики появились. В ручном режиме перемещали ВМ по позициям, несколько раз произошло отклонение: ВМ по GUI позицию не достиг, а в частотном преобразователе данные по позиции и отклонениям в пределах допустимых, заданных параметрах. Остановили вакуумные насосы, перезапустили PLC установки. Выгружены паллеты, ВМ повторно прогнали по позициям. Установка передана производственному персоналу.

04.12.22 Встал ВМ перед РМ3 для выгрузки паллет из Рма.

28.11.22 Запуск

11.11.22 Запуск и останов через 12 часов

Нагрев установки до 200 С (HET) / 60 С (HBT) провел: да
Heater Reactor 8:Fatal temperature, большая разница между Sensor 1 и Sensor 2, приходится сбрасывать OFF-Standby нагреватели, PM2 отстает в нагреве на 20С

13.09.22 Останов. Перевели установку в OFF. Вода перекрыта.

03.09.22 Запуск

Ремонт: Не откачивается LL. Течь плиты охлаждения 17 в LL. Замена плиты охлаждения №16,17 в LL

01.08.22 Останов с охлаждением

17.07.22 Паллета осталась в реакторе 5 РМ1 Внутренний манипулятор ударился в паллету при заезде вил в РМ1. id паллеты - 371, кассета 22.

Ремонт: Встал в ошибку вакуумный камерный насос РМ1. Замена

РМ1: ремонт R5. Течь воды с плиты стека LL-заменили прокладки

29.06.22 Запуск

01-27.06.22  — Останов установки на ТО (Останов завода)

06.06.22 Замена прокладок на контуре охлаждения основного трубопровода, насосов, генераторов

06.06.22 Замена батареи SMB робота АВВ

07.06.22 Замена контакторной интерфейсной платы А21 в шкафу робота АВВ. Не работал один из каналов управления контакторами включения двигателей

08.06.22 Замена масла во всех осях робота АВВ (стружка на пробке 6 оси)

10.06.22 Замена уплотнительных колец и чистка трубопроводов линии утилизации газов от осаждения

14.06.22 Дефектовка отсечных вакуумных затворов

20.06.22 Переподключение пневматических трубок для монтажа точки подключения пневмопистолета

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: Реактора без замечаний. Чистка фильтров вакуумных насосов и теплообменников (03-04.03.2022) - Проведение ПГТО

06.12.21 — Замена сильфона № 2, 3 (течь), 4, 5, 6

Ремонт: Заменили сильфоны приводов затворов 2, 3, 4, 5, 6. Провели ремонт реактора 6 РМ1, заменили пины и керамическую планку 3 (сломана). Демонтировали затворы, провели чистку и заменили уплотнения камерных затворов (шнуры) в РМ1, РМ2, РМ3. При откачке обнаружили течь в RPS PM2 (верхний левый) - ослаб крепеж хомута соединения. Устранили. Проведено МТО робота.

04.09.21- Замена сильфона №1 (течь)

Ремонт: Замена сильфона №1, замена отсечных вакуумных затворов РМ2 YV423, РМ1 реакторный.

21.08.21 14:49 – 17:25 Останов по скачку напряжения

16.08.21 Порт 3: оптимизация движения робота

12.07.21 Ошибка ВМ (линейное перемещение) при вращении. ВМ заехал в РМ3 с паллетами при поднятых пинах. Сломало первый ряд пинов в РМ3.

Ремонт: Заменили пины в реакторах РМ3 Р1-Р10 (сломано первый ряд, ВМ заехал в РМ с паллетами при поднятых пинах). На манипуляторе периодически выходит ошибка по энкодеру. Проверили кабели, проверили разъем энкодера на наличие обрывов и замыкания. В ходе проверок выявили неисправный двигатель ВМ. Заменили двигатель линейного перемещения.

09.07.21 Остановился ВМ, не двигается даже вручную

Ремонт: Корректировка положения кожуха ВМ, настроили положение. Произведена замена планки 4 Р8 РМ3. Произведена замена пинов 4.4 Р10 РМ2, 1.1, 2.1, 3.1, 4.1 Р8, 1.1, 2.1, 3.1, 4.1 Р6 РМ3. Поправлена сильфонная муфта привода затворов реакторов РМ1. Произведена замена рукавов охлаждения РМ2, РМ3. Заменены вакуумные отсечные затворы 422, 423 РМ3. Проведено МТО KAI, МТО робота KAI1. При откачке произошёл сбой в работе отсечных клапанов, затворов ТМ, реакторов. Перезагружен PLC KAI (корректно загрузился с третьей попытки: были многочисленные ошибки. Провели эмуляцию открытия байпасных клапанов YV419 во всех РМ, после клапана YV418 открылись в нормальном режиме, пошло вакуумирование модулей. Выявлена утечка в РМ2 на клапане YV423, заменили клапан. Установка на вакуумировании. Проведение тестов передаем по смене. Клапан 423 рм2 клинит закрывается через раз. Заменили клапан 423 РМ2 на б/у снятый с РМ3,

10.05.21 Замена сильфона затворов РМ1 № 1

24.03.21 Останов завода на ТО

14.02.21 Замена сильфона камерных затворов № 1

12.02.21 Смещение паллеты 10 слот при перемещении ВМ из LL в ТМ. Некорректная загрузка паллет роботом, задел за пины и сместилась паллета.