Работы на KAI2 и ABB2 (Обновлено: 17.07.23 Открыто: 12.06.23)

12.06.23 — Текут цилиндры камерных затворов № 3 (заменен снятым с КАИ3), № 6

12.06.23 - Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23) планово

08.08.22 — Замена сильфона охлаждения на новую систему охлаждения LL (шланги)

27.12.21 — Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3

#In the process of updating

12.06.23 - Паллету развернуло на слоте 1 вил при выезде из РМ1. id паллеты - 0430, кассета 36.

Ремонт: РМ1: Замена реактора 1, Замена сильфона привода камерных затворов
РМ2: Замена сильфона привода камерных затворов. Заменён цилиндр №3 (б/у, ранее снятый с KAI3).
РМ3: Замена сильфона привода камерных затворов. Цилиндр №6 имеет поршневую течь...

Работы по ПГТО

17.05.23 - Паллету зажало на слоте 3 вил при заезде в РМ1 из РМ3. id паллеты - 376, кассета 36.

Ремонт: Проверка реакторов ДО ремонта и РЕМОНТ: РМ1:R3 сломаны пины 1.4, 3.4, 4.4, 4.1, R5 пин 1.4 кривой, R8 пин 2.4 кривой. Замена пинов в R3 : 1.4, 3.4, 4.4, 4.1, R5:1.4;1.3;2.4, R8: 2.4; 2.3. Замена титан.планок на модифицир. РМ1- R3; R5;R8. Замена отсечного клапана PM2 YV423

08.05.23 - Проблемы с движением ВМ из-за неисправных подшипников ролика ремня. ВМ встал, при заезде в РМ1. Изменили параметры #65 с +15000 до +20000, #66 с -15000 до -200000. В 0:50 ВМ встал, при заезде в РМ1. При управлении в ручном режиме манипулятор выехал наполовину из РМ3 и встал (параметры #65 и #66 вернули прежние значения)

Ремонт: Охлаждена установка. Проведён осмотр элементов транспортной системы ВМ: на натяжном ролике заменено 2 неисправных подшипника, на направляющем ролике 1 неисправный подшипник. Проведена смазка направляющей натяжного ролика. Заменена смазка на линейных подшипниках. В цикле откачки обнаружена неисправность затворов TM-LL. Уплотнители проверены на утечки: на уплотнителях 1 и 2 затворов обнаружена течь (течь со стыка ниппеля с телом подушки). Произведена замена неисправных уплотнителей.

20.04.23 - Останов на плановое ТО в связи с остановом инженерных сетей на ТО

02.04.23 - Поднялось давление в ТМ-течь сильфона привода затворов РМ3 №5

Ремонт: РМ1:R10 сломан пин 2.1 R7-сломан пин 2.4 R5-кривой пин1.4. Замена сильфона №5 на б/у

14.03.23 - Паллета осталось в PM1 реактор 7 id 0374

Реактор: Провели осмотр в Рм1 Р7 сломана планка №4, заменили планку и пин 4.1, провели настройку вил ВМ слот №7,

08.03.23 - Встал ВМ в РМ3 ( при выезде). Паллеты остались в РМ1 кас 107 кас, РМ2 кас 118, PM3 кас 104.

Ремонт: РМ1: R2 - сломан кер. уголок, РМ3: R1- пин 2.1 согнут. Была проведена замена реактора №2 1021 S 1200 10 STO 19 на 1138 S 1200 10 STO 19 в РМ1

06.03.23 - Паллету развернуло на слоте 10 вил при выезде в ТМ из РМ1. id паллеты - 0030, кассета 108

Ремонт: При осмотре обнаружили в РМ1 r4 планки 1,3,4 сломаны, r2 в реакторе осколки от керам. плиток. РМ3 r2 планка 1 сломана, r4 планка 1 сломана, r5 планки 1,3,4 сломаны, r10 планка 3 сломана. Провели ремонт реакторов, установили оригинальные пины в РМ3R1, PM3R6, PM3R8 (в РМ3 во всех реакторах установлены оригинальные пины). Была произведена замена всех пинов с НТЦ на оригинальные во всех реакторах, которые были в ремонте. Обнаружена утечка с сильфона №3 камерных затворов РМ2 - замена

23.02.23 - Паллета осталась в R5 РМ2 при выезде из РМ2 в РМ1. id паллеты - 0845, кассета 170.

Ремонт: PM2R5 сломана керамическая плитка, PM3R9 сломаны керамические планки 2 и 3. Заменили PM2R5 (S/n 1146-S-1200 11 STO 19 - сняли, S/n 924-S-1200 11 STO 19 - установили), провели ремонт реактора PM3R9 - замена всех пинов на оригинал.

14.02.23 - Останов для проведения ТО и замены экспериментальных пинов НТЦ на оригинальные.

Ремонт: МТО стека LL, робота ABB, КТО ВМ. Чистка фильтров вакуумных насосов. РМ1 R9 - замена пина 4.4. РМ2 R8, R6, R5, R4,R2 - Замена экспер. пинов на оригинальные (б/у). РМ2 R4 замена планки 3.
Заменили батареи PLC1-4. Перезаписали бэкап. Отключены вакуумные насосы.

04.02.23 - Встал ВМ при заезде в PM1. Паллета осталась в РМ1 R10 id 0431

Ремонт: PM1R10 сломаны пины; PM1R3 клинят пины 2.2, 2.3; PM2R9 сломана планка 4; PM3R3 сломана планка 4; PM3R7 сломана планка 3. PM1R10 заменили все пины, PM1R3 заменили реактор (S/n 266-S-1200 08 PRC9 - сняли, S/n 1045-S-1200 10 STO 19 - установили) - разбито посадочное место пина, PM2R9 заменили реактор (S/n 945-S-1200 11 STO 19 - сняли, S/n 1082-S-1200 11 STO 19 - установили) - поврежден ТЭН, заменили все пины (установили оригинальные пины), заменили планку; PM3R3 заменили все пины (установили оригинальные пины), заменили планку; PM3R7 заменили все пины (установили оригинальные пины), заменили планку.

22.01.23 - Паллету развернуло на слоте 5 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты - 0879, кассета 130.

Ремонт: РМ1R5 сломаны пины. Выгрузили реактор. Заменили все пины, восстановили геометрию титановых планок. Заменили YV423 PM2.

20.01.23 - Паллета отсутствует на слоте 6 вил при выезде из РМ1. id паллеты - 0066, кассета 91.

Ремонт: PM1 R6 сломаны планки 1,4. РМ2 R10 сломаны планки 1,2; R7 планки 2; R3 планка 4.

18.01.23 - Обнаружена утечка с азотных пневмоуплотнений затворов TM/LL, повреждено уплотнение на 1-м затворе.

Ремонт: Заменили пневмоуплотнения на 1-м и 2-м затворах (установлены тестовые пневмоуплотнения)

08.01.23 - Паллету развернуло на слоте 9,10 вил при выезде в РМ1 . id паллеты - 0284,0382, кассета 36.

Ремонт: РМ1:R9 кривая поперечная планка, РМ2: R1 сломана планка №1

02.01.23 - ВМ заехал наполовину в РМ1 за паллетами и встал в ошибку по перегрузке.

Ремонт: РМ1:R2 сломаны пины 3.1. R9 сломаны пины 4.4. Замена цилиндра камерных затворов РМ1. Проверили сильфонную муфту реакторных затворов РМ1-ок. Вывели манипулятор в Standby, проверили заезд в РМ2-ок. Охладили/отвентилировали установку. Проверили ход пинов в реакторах РМ1-РМ3. По результатам проверки восстановили геометрию титановых планок, заменили пины 1-1,1-2,1-3, 2-3, 3-1, 3-4,4-3 в R2. Пины 1-1, 1-4, 2-3, 3-3, 4-1, 4-4 в R9. Заменили погнутый винт крепления реактора R2.

31.12.22 - Неисправен ТЭН PM2 R2.

Ремонт: Неисправны реактора PM2 R2 (неисправен ТЭН), PM3 R5 (сломана керамическая планка №4). Произвели ремонт реакторов. Была проведена замена реактора 2 PM2 id1081 на 951

01-27.06.22  — Останов установки на ТО (Останов завода)

01.06.22 Останов оборудования. Перекрыли водяной контур охлаждения.

06.06.22 Замена масла во всех осях робота АВВ

07.06.22 Замена вентилятора ПК робота АВВ

07.06.22 Замена прокладок на контуре охлаждения основного трубопровода, насосов, генераторов

09-14.06.22 Замена уплотнительных колец и чистка трубопроводов линии утилизации газов от осаждения

14.06.22 Дефектовка отсечных вакуумных затворов

20.06.22 Переподключение пневматических трубок для монтажа точки подключения пневмопистолета

18.04.22 - Паллета id 538, кассета 111 осталась в РМ1 R4.

Ремонт: PM1R4 сломана планка №4, пин 3.4 кривой; PM1R1 пин3.4 кривой. Провели ремонт реакторов PM1R4, PM1R1.

21.03.22 — Течь сильфона привода затвора PM1. Сильфон № 2

Ремонт: замена сильфона привода затвора PM1. Сильфон №2

12.03.22 — Паллета № 141 осталась в PM1 Р6 реактор cas 111

Ремонт: извлекли паллету №541 с РМ1R6. Проверили реактора-ок, проверили реакторный затвор PM1R6-ок, настроили положение вил внутреннего манипулятора 6-й слот, провели транспортный тест-ок, провели проверки согласно чек-листу

* всю историю ремонта смотри ниже.

#In the process of updating

• КАИ:
• Июнь — ПГТО (Проведено 12.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО
• РОБОТ:
• Июнь — КТО (Проведено 12.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО

#In the process of updating

1. Если на клапане нет бирки, или на бирке нет даты переборки, или дата переборки более года (снять для ревизии заменив их подменными) отсечные затворы VAT

#In the process of updating

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

14.07.23 - Замена сильфона стека на новый Seal_Tech (Китай Партия 07/23)

12.06.23 - Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23) планово

08.08.22 — Замена сильфона охлаждения на новую систему охлаждения LL (шланги)

#In the process of updating

16.07.21 — Замена затвора № 1 на б/у

01-27.06.22  — Останов установки на ТО (Останов завода)

01.06.22 Останов оборудования. Перекрыли водяной контур охлаждения.

06.06.22 Замена масла во всех осях робота АВВ

07.06.22 Замена вентилятора ПК робота АВВ

07.06.22 Замена прокладок на контуре охлаждения основного трубопровода, насосов, генераторов

09-14.06.22 Замена уплотнительных колец и чистка трубопроводов линии утилизации газов от осаждения

14.06.22 Дефектовка отсечных вакуумных затворов

20.06.22 Переподключение пневматических трубок для монтажа точки подключения пневмопистолета

18.04.22 - Паллета id 538, кассета 111 осталась в РМ1 R4.

Ремонт: PM1R4 сломана планка №4, пин 3.4 кривой; PM1R1 пин3.4 кривой. Провели ремонт реакторов PM1R4, PM1R1.

21.03.22 — Течь сильфона привода затвора PM1. Сильфон № 2

Ремонт: замена сильфона привода затвора PM1. Сильфон №2

12.03.22 — Паллета № 141 осталась в PM1 Р6 реактор cas 111

Ремонт: извлекли паллету №541 с РМ1R6. Проверили реактора-ок, проверили реакторный затвор PM1R6-ок, настроили положение вил внутреннего манипулятора 6-й слот, провели транспортный тест-ок, провели проверки согласно чек-листу

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: РМ1 Р10 - замена пина 1.4, 4.4, РМ1 Р5 - замена пина 1.1, 1.4

10.02.22 Паллета осталась в РМ1 Р10 на слоте 10 id паллеты -0711 , кассета 109

Ремонт: РМ1:R10-сломана планка №2,пины 2,4 2,3 и керамическая плитка - замена: сняли 1018-S-1200 10 STO 19, установили - ХЗ (не записали)

09.02.22 Течь сильфона №1 (288 дней) - замена. Сильфон №6 - замена по наработке (259 дней).

Ремонт: Замена сильфонов №1, 6. Проверили реактора -ок. Провели КТО робота АВВ, КТО KAI.

17.01.22 Паллету развернуло в р-ре 4 вил при выезде из РМ1 в TM. id паллеты - 0632, кассета 130.

Ремонт: PM1 R1 cломана планка №3, замена. Рм1 Р4 сломан пин 2.1, 1.1, 3.1, 4.1. Р1 пин 3.1, замена. Провели настройку привода пинов, заменили линейные подшипники системы подъёма пинов со стороны ТМ, заменили цилиндр привода реакторных затворов, Установили скобы на планки РМ1 со стороны ТМ

12.01.22 Паллета сместилась на 8 слоте вил после загрузки в РМ1 из РМ3. И зажало реакторным затвором РМ1. Паллета (5 слот кассеты) 0212 кассета 91.

Ремонт: РМ1 R8 сломан первый ряд пинов, ремонт PM1 R8, R5 неравномерный нагрев р-ра, замена р-ра

08.01.22 Паллету развернуло на слоте 8 вил при выезде из РМ1 в TM. id паллеты - 0593, кассета 143.

Ремонт: Отрегулировали высоту вил манипулятора (6 и 8 слоты)

07.01.22 Паллету развернуло в р-ре 6 при выезде из РМ1 в LL. id паллеты - 0136, кассета 108

Ремонт: Провели ремонт реактора РМ1R4, R5- замена пинов, R6 - замена реактора на 193-S-1200 PRC 19, замена пинов и установка керамических планок, R7 - ремонт реактора, замена пинов и титановых планок на керамику. Отрегулирована высота поднятых пинов в РМ1. Провели транспортный тест, по результатам теста - высота от паллеты до керамических плиток 3 мм в РМ1.

05.01.22 Паллеты остались в РМ1 и зажало реакторным затвором в реакторе 9. id паллеты - 286, кассета 167.

Ремонт: При осмотре обнаружили в PM1 R9 сломаны передние пины, PM2 R9 пин 4.2 R4 пин 3.3, PM3 R9 пин 1.1 сломан. Провели ремонт реактора РМ2 R3 - замена пина 3.3, PM2 R9 - замена пинов 2.2, 3.2. РМ3 R3 замена пина 1.1. PM1 R2 замена титановых планок на керамические, замена пинов. PM1 R3 замена керамических пинов. РМ1 R9 замена реактора(сняли 643-S-1200 08 SPA 19, установили 1057-S-1200 11 STO 19). PM1 R10 замена титановых планок на керамические, замена пинов. Скорректировали верхнее положение ТОР в РМ1, подняли на 1.5мм вверх. Для этого сместили датчик аварийного останова вверх. Замена пинов в LL, снимали плиты охлаждения 12 слот - замена пина 1.4, 16 слот - замена пина 1.3. Провели транспортные тесты.

03.01.22 Паллету развернуло на слоте 3 вил при выезде из РМ1 в LL. id паллеты - 634, кассета 74.

Ремонт: Проверили реактора-отклонений нет, провели транспорт-тест-отклонений нет, проверили реакторные затворы-ок. При перемещение стека с пинами в РМ1, заметили что подъем стека неравномерный. Демонитровали камерные затворы в РМ1, для проверки направляющих стека, проверки соосности стека.

02.01.22 Паллета осталась в R9 PM1. id паллеты - 556, кассета 165

Ремонт: реактора 9 РМ1, застрял пин 4.2. Выкатили реактор при осмотре обнаружили что слетело стопорное кольцо на крепление пина титановой рамки №2, установили кольцо, собрали реактор. Провели проверки по чек листу, сделали транспортный тест с паллетами, проверили положение стека LL, без замечаний.

01.01.22 Паллету развернуло на слоте 3 вил при выезде из РМ1 в LL. id паллеты - 634, кассета 74.

Ремонт: РМ1 R8 заменили все пины. R5 проверка термопары (замена верхних направляющих с подшипниками), Проведена настройка высоты вил 3 этажа ВМ.

31.12.21 Паллета сместилась на 8 слоте вил после загрузки в РМ1 из РМ3. Паллета 0549 (5 слот кассеты) кассета 143.

Ремонт: Проверена транспортная система: кривой пин 4.4 Р9 РМ1, сломана керамическая плитка реактора 8 РМ1, РМ2, РМ3 без отклонений. Произведён ремонт реактора 8 РМ1, заменён реактор 9 РМ1 (демонтирован реактор 193-S-1200-07-PRC-19, установлен реактор 269-S-1200-08-PRC-19). Произведена сборка транспортной системы реакторов РМ1. Провели ПГТО KAI, КТО робота.

10.12.21 Паллету развернуло на слоте 3 вил при заезде из РМ1 в LL. id паллеты -634 , кассета 74.

Ремонт: Заменили муфту реакторных затворов, PM1. Настроили ход реакторных затворов.

07.12.21 При загрузке паллет из PM1 в LL на вилах манипулятора 8-го слота развернуло паллету (паллета №549)

Ремонт: РМ3R8 сломана керамическая плитка. Заменили реактор (S/n 1082-S-1200 11 STO 19 - демонтировали, S/n 1148-S-1200 11 STO 19 - установили)

06.12.21 Паллету развернуло на слоте 1 вил при выезде из РМ1 в LL. id паллеты - 665, кассета 109.

Ремонт: Провели ремонт реактора PM1R1 (установили керамические планки вместо титановых), заменили фторопластовую втулку на направляющей стека LL, провели смазку ШВП стека LL, провели проверки согласно чек-листу. Корректировка параметров загрузки/выгрузки роботом а Llin, изменение координат по оси Y и Z для загр и выгр., провели транспорт-тест. КТО робота АВВ, замена лопаток.

05.12.21 Паллету развернуло на слоте 8 вил при заезде из РМ1 в LL. id паллеты - кассета 143

Ремонт: При осмотре выявлены сломанные и погнутые пины в LL. При осмотре реакторов и внутреннего манипулятора ничего не выявлено. Слили воду с контура охлаждения LL, вытащили плиту теплообменника 3 слота: заменили пины 1.1 и 1.3 в 3 слоте, пин 1.1 в 4 слоте, пин 1.1, 3.1 в 7 слоте, пин 3.1 в 11 слоте. Провели несколько транспортных тестов загрузки выгрузки паллет в РМ1, РМ2, РМ3, LL. Выявлено смещение паллет в РМ2. Выявлены задиры и подклинивания на втулке верней направляющей в LL. Провели шлифовку и настройку. Проведены проверки позиций стека LL.

29.10.21 Паллету развернуло на слоте 9 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты - , кассета 87

Ремонт:
- РМ2: R8 - замена керамической планки 1 и пина 1.2, R9-замена керамической планки 1 и пина 1.2;
- LL слот 7 замена пинов 1.3, 1.4, слот 12 замена пина 3.3;
- РМ1 R5 восстановили изоляцию на выводе тэна.
- Произведена замена отсечных клапанов линии реакторов РМ2, камерных отсечных затворов РМ1, РМ2, РМ3.

21.09.21 Паллета осталась в р-ре 10 РМ1. id паллеты — 0621, кассета 40.

Ремонт: РМ1: R10 пин 2.4 сломан, 4.4 кривой, 4.2 кривой.

17.09.21 Останов на замену реактора РМ1 Р8 по причине ошибок зажигания плазмы.

Ремонт: Замена реактора РМ1 Р8 865-S-1200 08 PRC 19 на 193-S-1200 07 PRC 19 в РМ1. Замена упорного подшипника ШВП стека загрузочного модуля, упорной шайбы

24.08.21 Плановые ремонтные работы и техническое обслуживание

Ремонт: Ремонт реакторов РМ1 Р1 — замена пина 2.4, РМ3 Р7 — замена реактора 1129-S-1200 10 STO 19 на 1121-S-1200 10 STO 19 и планки № 1, РМ2 Р4 — замена пина 1.3, 1.4, и планки № 1, восстановление изоляции тэнов PM2 R10 и PM3 R6, замена сильфонов № 2,3,4,5, настройка сильфонной муфты р-ного затвора PM1, КТО ABB и KAI, замена реакторного затвора РМ3 Р7

21.08.21 14:49 — 01:00 22.08.21 Останов по скачку напряжения, сбились нулевые точки осей

Ремонт: калибровка робота, восстановление нулевых точек, обновление счетчика оборотов осей

24.06.21 Остались 2 паллеты в РМ1 R7, Течь сильфона привода камерных затворов № 4

Ремонт: Замена сильфона № 4, РМ1: Замена пинов R7: 3.1, 4.1, 1.2, 1.3, 1.4, 3.3, 3.4. Настройка вил ВМ слот № 7, PM1 R7 Правка титановых планок

17.06.21 Течь сильфона привода камерных затворов № 3

Ремонт: Замена сильфона № 3 (установлен б/у). РМ1: R4 2.4 кривой (заменили), R7 2.4 кривой (заменили 2.1, 2.2, 2.3, 2.4, 3.2), R8 3.4 кривой

08.06.21 Замена генератора плазмы в RPS (РМ3 нижний правый). Проблема с питанием, не включается

26.05.21 Течь сильфона привода камерных затворов № 6 — Замена

05.05.21 — Смещение паллеты в РМ1 Р7 (сломался пин 3.4 — паллету развернуло против часовой стрелки, уперлась в боковую сторону справа со стороны ТМ).

Ремонт: РМ1Р7 — замена всех пинов (16 шт.) на китайские. Провели ГТО, Заменили реакторные отсечные клапана в РМ1 (VL114), РМ3 (VL114 и VL115), Прочистили фильтра на вакуумных насосах, Провели ТО АВВ робота (проверили уровень масла), Протяжка силовых контактов

27.04.21 — Замена сильфона № 1, подушки № 9, ремонт реакторов РМ1: R10 пин 2.4, R7 пин 3.4 кривой, R4 пин 2.4 кривой

12.02.21 Паллету сместило при загрузке в РМ1 из РМ2 на слоте 2.

Ремонт: РМ2 R2 вылетели из пазов планки № 1 и № 3. Установлены скобы на R2 — 4 шт

22.12.20 Течь сильфона № 2 — замена сильфона № 1, 2.

Ремонт реактора РМ1 Р2 — сломана планка № 1

10.10.20 Паллету развернуло при повороте манипулятора из РМ3 на слоте 9

09.11.20 Замена азотной подушки затвора 3 без вскрытия и полного охлаждения