Работы на KAI4 и ABB4 (Обновлено: 25.07.23 Открыто: 25.07.23)

• 27.12.21 Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3
• 17.03.22 — Останов оборудования
• 22.03.22 8:00 — Подняли температуру охлаждающей воды на 2 градуса
• 08.04.22 20:00 — Запуск в работу после длительного простоя на ТО

25.07.23 — Течь сильфона ТМРМ № 5.

Ремонт: Замена сильфонов ТМРМ № 2-6 на Seal_Tech партия 06/23. Проведение МТО LL и МТО робота АВВ. Проверка на утечку азота 5.0

15.06.23 — Проведение ПГТО

04.06.23 — Замена сильфона ТМРМ № 1 (течь) на китайский Seal_Tech партия 06/23

16.03.22 - 08.04.22 — Останов оборудования. Проведение ТО

За время простоя выполнено:

КАИ: Замена прокладок контура водяного охлаждения, замена отсечных клапанов PM3 YV418 Ду250 и РМ3 YV422 Ду200, чистка фильтров вакуумных насосов

Робот: Замена масла в осях робота, замена лопаток и фильтров вакуумного насоса, замена накладок центровочного стола, замена контакторов робота АВВ

11.03.22 — Паллету развернуло на слоте 7 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты -, кассета 21.

Ремонт: PM1P7 сломан пин 1.1 - Замена

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: Реактор РМ3 Р9 - пины 2.4, 3.3, 3.4 погнуты. Чистка фильтров вакуумных насосов и теплообменников (03-04.03.2022) - Проведение ПГТО

* Историю ремонта смотри ниже.

• КАИ:

• Июнь — ПГТО (Выполнено 15.06.23)

• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО
• РОБОТ:

• Июнь — КТО (Выполнено 15.06.23)

• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

25.07.23 — Течь сильфона № 5. Замена сильфонов ТМРМ № 2-6 на Seal_Tech партия 06/23

04.06.23 — Замена сильфона ТМРМ № 1 (течь) на китайский Seal_Tech партия 06/23

10.04.23 - Установлен тестовый сильфон стэка Китайского производства Seal_Tech

Октябрь 2022 — Сильфон ввода воды в стэк заменен на шланги

04.10.21 Замена уплотнений в №9 на новый (стоял б/у)

23.06.21 Замена уплотнений в №7 - повторно

23.05.21 - Замена уплотнений в №7 - повторно

18.05.21 - Замена уплотнений в №1-8 (по наработке), 10 (течь)

16.03.22 - 08.04.22 — Останов оборудования. Проведение ТО

За время простоя выполнено:

КАИ: Замена прокладок контура водяного охлаждения, замена отсечных клапанов PM3 YV418 Ду250 и РМ3 YV422 Ду200, чистка фильтров вакуумных насосов

Робот: Замена масла в осях робота, замена лопаток и фильтров вакуумного насоса, замена накладок центровочного стола, замена контакторов робота АВВ

11.03.22 — Паллету развернуло на слоте 7 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты -, кассета 21.

Ремонт: PM1P7 сломан пин 1.1 - Замена

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: Реактор РМ3 Р9 - пины 2.4, 3.3, 3.4 погнуты. Чистка фильтров вакуумных насосов и теплообменников (03-04.03.2022) - Проведение ПГТО

01.02.22 Течь сильфона привода затворов РМ3 (5-ый сильфон)

Ремонт: Произведена замена отсечных клапанов 422 в РМ3, 418, 422, 423 в РМ2, 418, 422 в РМ1, 304 в ТМ (наработка). Заменили сильфон 5 камерного затвора РМ3 (гарантия). Провели проверки согласно чек-листу, провели МТО KAI, МТО робота АВВ.

30.12.21 Течь сильфонов камерных затворов №2 и №3.

Ремонт: Замена сильфонов №2, 3 (Гарантийный случай). Ремонт реактора РМ1R9 (замена пина 4.4- кривой), PM1R6 (При проверке хода пинов сломало кер. планку 3), РМ1R5 (погнуло пин 4.2). Замена реакторов по причине плохого качества ячеек: PM1R4 739-S-1200 08WIM19 заменен на 865-S-1200 08 PRO19, PM1R5 844-S-1200 08PRC19 заменен на 855-S-1200 08PRO19, PM1R6 1057-S-1200 11STO19 заменен на 922-S-1200 11STO19. Проведение КТО KAI и Robot ABB.

22.11.21 Не до конца был закручен сердечник волновода реактора РМ1 К4 (1), (2)

Ремонт: Кольцо немного растянулось из-за этого электрод вставал на место с большим усилием. Заменили кольцо смазали вакуумной смазкой. Резьба на электроде и в волноводе в норме.

21.11.21 При заезде в РМ1 встал ВМ.

Ремонт: РМ1 R10 - замена пинов 1.1, 2.4, 3.2, 3.3, 3.4, 4.1. R4 - замена планки 1 (сломана) и пинов 1.3, 4.3. Замена пина 3.1 в слоте 6 LLout, Замена отсечного клапана YV422 РМ3.2 (не заработал, вернули обратно), Закончили выполнение ГТО, КТО, МТО КАИ, МТО робот АВВ.

08.09.21 Сместилась паллета слот 3 при выгрузке в LL. Зажало затворами. При проведении ТО стека заменили пин 3.1 слота №3 LLout на длинный, чем нужно.

Ремонт: Поправили паллету. Заменили пин 3.1 слота №3 LLout. Проведи МТО робота. Протяжка контактов в шкафу BPMH. Восстановили изоляцию выводов ТЭНов РМ3 Р2 и Р5.

21.08.21 14:49 – 15:33 Останов по скачку напряжения

31.07.21 Течь сильфонов привода затворов №2 и №5

Ремонт: РМ2: R6 замена планки 3, РМ3:Замена сильфона 1, 2, 3, 4, 5, 6

05.07.21 Заклинил манипулятор, задевал за кожух

Поправили кожух ремня ВМ

04.07.21 Течь сильфона привода затворов РМ1 (№2)

Замена сильфона на б/у, замена отсечного клапана РМ3 YV418(VL511), проведение КТО

28.06.21 Течь сильфона привода затворов РМ2 (№4)

Замена №4, №5, РМ2: R2-сломан пин 1,4 погнута планка (1.4, 2.4, 3,4. 4,4. 4,1. 3,3)

24.06.21 Течь сильфона привода затворов РМ3 (№6)

Замена сильфона на б/у, замена отсечного затвора РМ3 YV423

15.06.21 Течь сильфона привода затворов РМ1 (№1)

Ремонт: РМ2 Р2 (пин 3.4 сломан, кривые планки 2, 3, кривая пластина заднего планкодержателя: планки и пластина выпрямлены, выкрутился винт крепления нижней рельсы: винт заменён), Р4 (пины 2.4, 3.4 погнуты), Р10 (пин 3.4 погнут). Произведён ремонт неисправных реакторов РМ2. Заменён неисправный сильфон 1 РМ1. Заменено резиновое уплотнение на R10 РМ2. Проведено КТО.

23.05.21 - Стек LL без охлаждения. Перекрыта вода и слита со стека

14.04.21 - паллета осталась в РМ1 Р8, перед эти были проблемы с ВЧ генератором на этом реакторе.

Ремонт: РМ1: R8 сломано много пинов и погнуты титановые планки. R7 - сломан пин 1.4, РМ3: R8 сломаны пины 2.1, 2.2.

23.03.21 - Останов завода на ТО

03.03.21 - Застревание паллеты в РМ1 Р7

Ремонт: РМ1: R7 сломана планка 1, пины 2.1, 3.4 сломаны, пин 3.1 кривой, заменили пины 2.1, 2.4, 3.4, 3.1, РМ2: Поменяли местами G10-8 (R10 не запускался H2_Plasma_300w)

25.01.21

Течь сильфона №6. Замена сильфонов №1 (планово), 3 (планово), 6 (течь). Замена водяного сильфона.

24.07.2020 поменяли опорную плиту и игольчатый подшипник на приводе ЗШ (загрузочного шлюза)

18.11.2020 Поджали камерные затворы РМ1 и РМ2 настройкой ограничительного цилиндра на штоке пневмоприводов затворов. Ошибка по водороду пропала.