Работы на KAI5 и ABB5 (Upd.: 30/12/20) <Откр.: 22/12/20>

Последнее вскрытие: 22/12/20

Неисправность реактора РМ2 Р4 - сгорел ТЭН. Заменили реактор 1124-S-1200 10 STO 19 на реактор 912-S-1200 10 STO 19. Также ремонт реактора РМ1 Р2, Р3 - сломаны и кривые пины

Примечания:

PNOZ:

1. 28.10.20 провели проверку и настройку срабатывания PNOZ камерной и реакторной (форлинии) вакуумной системы. Корректировали Камерный Баратрон (на 0,5 оборота по часовой стрелке), Камерный TPR - текущая уставка 5,8В, Реакторный (Форлиния) TPR - текущая уставка 7,0В

18.11.20 Настройка закрытия реакторных затворов в PM2, закрутил упорный ограничительный винт на 2 мм, теперь реакторный затвор будет прижиматься сильнее.

Список работ на установке

Без охлаждения:

ТО:

1. МТО за январь
1. Установка в целом (по чек-листу)
2. Загрузочный шлюз (по чек-листу)
1. Направляющая стека (как напоминание)
2. Тяга двери (как напоминание)
2. МТО робота за январь

При охлаждении:

ТО:

Реакторные и камерные затворы - ПРИОРИТЕТ ВЫСОКИЙ:

1. Проверить реакторные затворы РМ2 - высокий RLC (утечка с реакторов в камеру). Осмотреть поверхность прилегания затворов к реакторам, сами затворы - возможно есть какие либо задиры, отшлифовать, наличие посторонних предметов. Можно использовать гибкую камеру. Проверить усилие прижатия (регулируется болтом на приводе затвора - ход флажка), ход реакторных затворов, горизонтальность относительно реакторов.
2. Проверить герметичность камерных затворов между ТМ и РМ1 - подозрение на утечку:
1. Провести визуальный осмотр затворов в открытом и закрытом состоянии, осмотреть крепеж (болты к стойке и винты под пружиной)
2. Осмотреть уплотнительные резинки
3. В закрытом состоянии проверить герметичность, просовывая бумагу между резинкой и затвором по краям и по середине. Бумага не должна проходить. Если есть щель, осмотреть затвор (возможно что то мешает), и/или подложить между крепежом затвора к стойке калибровочные пластины. Есть на складе разной толщины)

Ошибки ВЧ-генераторов и блоков согласования

Даты замены сильфонов:

Даты замена пневмоуплотнителей:

Высота вил внутреннего манипулятора:

Высота позиций стека LL: