Работы на KAI5 и ABB5 (Обновлено: 24.07.23 Открыто: 23.07.22)

• 27.12.21 Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3
• 17.03.22 — Останов оборудования
• с 8:00 22 марта изменили температуру прямой воды охлаждения, подняли на 2 градуса до 25
• 22.03.22 10:00 Выключен дополнительный насос LL, вода перекрыта
• 23.03.22 Заменили ручные клапана в ГШ на линиях РН3, Н2, В2Н6, СН4 - были негерметичными. Провели течеискание - ок.
• 08.04.22 20:00 — Запуск в работу после длительного простоя на ТО

23.07.23 — Течь сильфона затворов РМ2 № 4

Ремонт: Замена сильфона №4. Срок службы 136 дней. - Установлен новый китайский Seal_Tech (партия 06/23)

21.07.23 — Останов для замены реакторов РМ1 Р8 и РМ3 Р8 по причине отбраковки пластин с этих реакторов. Выходят пластины с пятнами в определенной области.

Ремонт: Заменили реактора РМ1 Р8, РМ3 Р8.Причина браковки пластин в реакторе #KAI5 PM1 Р8 открутившийся винт соединения волновода (одного из 4-х) с внутренним (верхним) электродом реактора. При этом следов прожигов, КЗ на волноводе и винте нет. Ошибок по генератору тоже не было.

14.04.22 — Течь сильфона камерных затворов № 1 — Замена на б/у

Ремонт: Замена сильфона камерных затворов №1 на б/у. РМ1R1 заменили пин 3.4 кривой, РМ1R3 заменили пин 4.4 кривой, PM1R8 заменили пины 1.4 и 3.4 кривые.

16.03.22 - 08.04.22 — Останов оборудования. Проведение ТО

За время простоя выполнено:

КАИ: Замена прокладок контура водяного охлаждения, переборка и чистка обратных клапанов на воде, чистка фильтров вакуумных насосов, замена ручных клапанов в газовом шкафу на газах метан, водород, диборан, фосфин - были негерметичными. Провели течеискание клапанов после замены - ОК

Робот: Замена масла в осях робота, замена накладок центровочного стола, замена контакторов робота АВВ

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: Реактор РМ1 Р5 Замена пинов 1.4, 2.4, 3,4, 2.3.

04.02.22 Паллету развернуло на слоте 8 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты - 593, кассета 143

Ремонт: PM1R10 пины 1.4, 4.4 кривые; PM1R8 пины 1.1, 3.4 кривые, пины 2.4, 4.4 сломаны; PM1R4 пин 4.4 кривой. Провели ремонт реакторов РМ1: R2, R4, R8, R9, R10. Замена неисправных пинов, рихтовка титановых планок. Восстановлена геометрия пластины затвора 8 реактора. Проведение ПГТО КАИ, КТО АВВ. Замена фильтров вак. насоса код 47933, 47932. Лопатки 35 мм, Вакуум 89 кПа. Закреплен кабель по оси 4-5, Незначительный износ присосок.

* всю историю ремонта смотри ниже.

• КАИ:

• Апрель — ГТО
• Май — МТО
• Июнь — МТО

• Робот:

• Апрель — ГТО
• Май — МТО
• Июнь — МТО

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

23.07.23 — Замена сильфона № 4. Срок службы 136 дней. — Установлен новый китайский Seal_Tech (партия 06/23)

10.03.23 — Установлен новый сильфон стэка корейского производства KSM совместно с пластиковой вставкой для защиты гофры

21.12.22 — Установлены сильфоны ТМРМ № 2, 3 китайского производства Seal_Tech_Китай (партия 12/22)

Октябрь 2022 — Сильфон ввода воды в стэк заменен на шланги

30.01.22 Течь пневматического уплотнителя затвора ТМ-LL №7 - Замена на новый (отработал 239 дней гарантия)

29.10.21 Течь пневматического уплотнителя затвора ТМ-LL №6 - Замена на новый

05.06.21 - замена 10 уплотнителей по наработке (течь по нечётной стороне)

14.04.22 — Течь сильфона камерных затворов № 1 — Замена на б/у

Ремонт: Замена сильфона камерных затворов №1 на б/у. РМ1R1 заменили пин 3.4 кривой, РМ1R3 заменили пин 4.4 кривой, PM1R8 заменили пины 1.4 и 3.4 кривые.

16.03.22 - 08.04.22 — Останов оборудования. Проведение ТО

За время простоя выполнено:

КАИ: Замена прокладок контура водяного охлаждения, переборка и чистка обратных клапанов на воде, чистка фильтров вакуумных насосов, замена ручных клапанов в газовом шкафу на газах метан, водород, диборан, фосфин - были негерметичными. Провели течеискание клапанов после замены - ОК

Робот: Замена масла в осях робота, замена накладок центровочного стола, замена контакторов робота АВВ

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: Реактор РМ1 Р5 Замена пинов 1.4, 2.4, 3,4, 2.3.

04.02.22 Паллету развернуло на слоте 8 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты - 593, кассета 143

Ремонт: PM1R10 пины 1.4, 4.4 кривые; PM1R8 пины 1.1, 3.4 кривые, пины 2.4, 4.4 сломаны; PM1R4 пин 4.4 кривой. Провели ремонт реакторов РМ1: R2, R4, R8, R9, R10. Замена неисправных пинов, рихтовка титановых планок. Восстановлена геометрия пластины затвора 8 реактора. Проведение ПГТО КАИ, КТО АВВ. Замена фильтров вак. насоса код 47933, 47932. Лопатки 35 мм, Вакуум 89 кПа. Закреплен кабель по оси 4-5, Незначительный износ присосок.

12.01.22 Течь сильфона №1 привода камерных затворов РМ1.

Ремонт: Заменили сильфоны №1 и №3, Заменили отсечные клапана YV423 в РМ2, РМ3. Осмотрели реактора-ок. Провели проверки согласно чек-листу.

05.01.22 Осталась паллета в PM1 R7

Ремонт: РМ1: R9 пин 4.4, 1.4, 3.4 кривой, R8 пин 2.4, 4.4 кривой, R6 сломана планка №4, пин 4.4, R7 пин 3.4 кривой; Реакторный затвор R6 - замена

17.12.21 Течь сильфона камерного затвора №2

Ремонт: Замена сильфона (на гарантии 139 дней). реакторы - ОК

05.12.21 Осталась паллета в РМ2 Р8.

Ремонт: Произведена замена пинов 3.4 Р7, 2.4, 4,4 Р8, 4.4 Р9 в РМ1 (все кривые), пинов 1.4, 2.2, 2.4, 3.2, 4.4 в Р8 РМ2. Поправлена сильфонная муфта реакторных затворов РМ2.

26.11.21 Останов установки для решения проблем с манипулятором. Манипулятор встает при загрузке паллет в РМ в начале движения

Ремонт: Заменили 4 каретки (подшипники) линейных направляющих, проверили высоты вил манипулятора -ОК, обновили смазку, провели трансп. тест с паллетами и без паллет, в каждый РМ по 5 раз, замечаний нет, параметры в программе диагностики в норме. Проверили крепеж манипулятора - ОК. Шума и усилия для перемещения манипулятора по ощущениям стало меньше. Провели проверки по чек-листам.

10.11.21 Останов установки для решения проблем с манипулятором.

Ремонт:

• Проверка ремней манипулятора – Ремни без заломов. Немного увеличили натяжку ремня.
• Проверка на ведущего вала (шкива) на люфты и заедания при вращении – ОК. Заеданий и люфтов не замечено. От руки вращается плавно, стуков нет
• Проверка натяжительных роликов и их подшипников снятием ремней – ОК. Ролики вращаются свободно, стуков, заеданий, люфтов нет.
• Проверка направляющих рельсов  - ОК. Задиров, царапин, трещин не обнаружено.
• Проверка кареток линейных направляющих: ВМ в ручную перемещается без чрезмерных усилий, при движении вибрации, заедания, сопротивления движения не замечено, При отсоединении ведущих ремней манипулятор перемещается очень легко, при несильном толчке продолжает перемещение по инерции,  посторонних шумов нет. Замечено, что на одной из кареток (передний левый) смазка грязная. Заменили, накачали каретки новой смазкой. Отдельно сняли подозрительную каретку (демонтировали из под манипулятора, но не снимали с рельсов), перемещали по рельсам без нагрузки. При перемещении руками каретка ходит плавно, шума и стуков нет, ничего не щелкает и не хрустит. Установили обратно.
• Провели транспортный тест с паллетами и без. С заездом в реактора по 10 раз в каждый РМ и LL. Показатели перемещения манипулятора в программе диагностики не выходили за установленные пределы.
• Отдельно проверены загрузка паллет в реактора. Внутри ничего не мешает перемещению.

При повторении подобной неисправности запланируем замену кареток линейного перемещения. Работа требует подготовки материалов и ЗИП.

06.11.21 Ошибка внутреннего манипулятора при заезде в РМ3 перед загрузкой кассет для производства. ВМ не двигается по оси.

Ремонт: Провели чистку ТС, линейных направляющих. Смазали ВМ, провели осмотр реакторов PM, а так же установки согласно чек листу. Выполнили КТО KAI5, Робота ABB5. LL 2 слот сломан пин 1.1, произвели замену.

29.10.21 Течь пневматического уплотнителя затвора ТМ-LL №6 - Замена на новый (гарантия)

15.10.21 При выгрузке в LL из РМ3 ВМ встал в ошибку из-за смещения паллеты.

Ремонт: РМ1 R10-пин 4.4 кривой (замена пина), R7 -пин 1.4 2.4 кривой (замена планки, замена пинов 1.4, 2.4), R4 -кривой 3.4 (замена пина 3.4). РМ2 R5 -сломана планка 4 (правка планки 4, замена пинов 2.4, 4.4). LL капеж воды на входе с прокладки и резьбового соединения, устранили

10.09.21 Течь сильфона №3

Ремонт: Проверили реактора: PM1R7 сломан пин 3.4, PM1R8 пин 3.4 черный, PM1R9 пин 4.4 черный. Заменили сильфон, провели ремонт реакторов. При проверке обнаружили сломанный пин 3.1 PM2 R7, отремонтировали реактор. Провели ГТО установки (вакуумные насосы, сильно загрязнены фильтры на под. ох.среды) , подача ох.среды PM3 течь на разъемном соединении коллектора, переобжали шланги. Вакуумный насос 3.1 течь с рубашки, протяжка, устранение течи.

21.08.21 14:49 – 15:22 Останов по скачку напряжения

20.08.21 Сгорел ТЭН реактора РМ1 Р7

Ремонт: замена реактора РМ1 Р7 (сгорел ТЭН) - установлен 863-S-1200 08 PRC 19, замена реактора РМ2 Р8 (ошибки по плазме) - установлен 320-S-1200 08 PRC 19, ремонт реактора РМ2 Р9 (сломана планка №4 - замена, пин 4.4 - замена), проведение части работ по ГТО КАИ (протяжка силовых контактов) и робота, замена розетки реактора РМ1 Р2 (была течь на розетке)

31.07.21 Течь сильфона №2 РМ1

Ремонт: Замена сильфонов №1,2,4,5,6

12.07.21 Течь сильфона привода камерных затворов №4 РМ2

Ремонт: РМ1 Р2 пин 3.4 (чёрный), Р6 сломана керамическая плитка Е4 - замена реактора (Снят 863-S-1200 08 PRC 19, Установлен 751-S-1200 08 WIM 19), Р7 пин 2.4 (погнут, чёрный), пин 4.4 (погнут), Р9 пин 3.4 (погнут), Р10 пин 4.4 (чёрный), РМ2 Р8 пин 2.4 (чёрный). Замена сильфона №4.

17.05.21 Паллета осталась в РМ1 в 9 реакторе

Заменили реактор 9 (S/n 1137-S-1200 10 STO 19 - сняли, S/n 440-S-1200 08 PRC 19 - установили), установили керамические планки вместо титановых. Провели транспорт-тест, скорректировали позицию загрузки паллет в LL "pLLinPos09" по оси У с -1528.16 до -1526.16.

16.05.21 Развернуло паллету на вилах ВМ слот №9 маршрут Рм3-1 во время выгрузки. id паллеты - , кассета 75.

При осмотре реакторов обнаружены PM1R9 сломаны пины 2.2, 3.2, 4.4. Провели ремонт реакторов PM1R1, PM1R3, PM1R4, PM1R6-R9. Замена на оригинальные пины

12.05.21 Паллета осталась в РМ1 на слоте 2 вил при заезде в РМ1 из РМ3. id паллеты - 152, кассета 292.

РМ1: Р10 пин 1.4 кривой, Р5 пин 2.4 кривой, Р2 пин 2.4 сломан. Замена всех пинов в Р2, Р5, Р10 на оригинальные пины. Открыли и проверили РМ2 на наличие кремневой пыли и продуктов осаждения, явных следов утечки не обнаружено.

09.05.21 Осталось 2 паллеты в R9 PM1.

РМ1: R1 сломана планка 3, R3 сломана планка 2, R5 слегка погнут пин 2,4, R7 погнут пин 2,4, R9 сломана планка 4, погнут пин 4,4, повреждена керамика, R10 слегка погнут пин 1,4. Провели ремонт R1 на R1 заменили верхний нагреватель, ремонт R3, R7, R9 заменили 855-S-1200 08 PRC 19 на 1137-S-1200 10 STO 19. Сняли с вил BM 2 индикатора температуры.

26.04.21 При заезде в РМ1 внутренний манипулятор сместил паллеты и срезал все пины в реакторах РМ1

РМ1: замена пинов во всех реакторах 1-10 на китайские (испытания пинов). РМ2: Проверка и регулировка коллекторов РМ2, чистка реакторных затворов 1-10 в РМ2Потом еще сутки двое еблись с устранением течи камерных и реакторных затворов. Заебались...

12.04.21 Паллета осталась в РМ1 R9 при выгрузке из PM id паллеты - 626, кассета 85.

РМ1: R9 пин 1.3 сломан, замена пинов 1.3, 2.4, 3.4, замена реакторного затвора R9 PM1

02.04.21 Паллета осталась в РМ1 R5 id паллеты - 0425, кассета 45.

Неисправны пин 2.4 реактор 5. Сломана плитка в реакторе 5. Замена реактора 5. Заменили реактор 870-S-1200 08 PRC 19, установили 1144-S-1200 11 STO 19, переборка розетки 2 реактора. При сборке была выявлена проблема посадки правого мини коллектора: произведена рихтовка поверхности примыкаемого отверстия. Заменён приводной ремень ВМ

25.03.21 Останов завода на ТО

17.03.21 Течь сильфона привода LL, затвора PM2 #3

Замена сильфона привода стека LL и сильфона №3 привода затворов ТМ/РМ2. Замена реактора PM1, R3(снят-1144-S1200 11 STO 19 - сломана плитка, установлен-548-S-1200 08 SPA 19), ремонт PM1R9 сломана керамическая планка 4, PM1R8 пин 1.4 кривой. Замена уплотнения на камерном затворе 2го реактора.

26.02.21 Паллета осталась в РМ1 Р3: РМ1 Р3 сломаны планки1-3, Р9 погнут пин 1.4, РМ2 Р8 погнут пин 1.4.

Ремонт Заменили планки 1-3 (керамика), пины 1.1, 1.4, в PM1R3; заменили планку 1 (керамика), пины 1.4, 4.4 в PM1 R9

12.02.21

Замена пневматических уплотнений затворов ТМ-LL № 10, 8, 4, 3, 2, 1 на б/у

05.02.21 Паллета осталась при выгрузке в РМ1 Р8.

РМ1: Р8 - замена пина 4.3, замена планок на титановые

PNOZ:

18.11.20 Настройка закрытия реакторных затворов в PM2, закрутил упорный ограничительный винт на 2 мм, теперь реакторный затвор будет прижиматься сильнее.