Работы на KAI6 и ABB6 (Обновлено: 13.07.23 Открыто: 04.06.23)

• С 17.09.18 В РМ1 установлен MFC CO2 с диапазоном работы до 1 слм вместо 10 слм (фактические потоки СО2 в 10 раз меньше, чем в рецептах)
• 27.12.21 Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3
• с 8:00 22 марта изменили температуру прямой воды охлаждения, подняли на 2 градуса до 25
• 10:00 22.03.2022 Выключен дополнительный насос LL, вода перекрыта
• 05.03.22 РМ2 Р7 установлен реактор с экспериментальными пинами от КТЦ - втулка вместо кер.шайбы предохраняет от вертикального смещения пина

9.04.22 - Останов установки. Проведение ТО

Ремонт:

КАИ:

• 09.04.22 Реактор РМ1R8 - пин 1.4 и 4.4 -кривой замена, РМ1R10 - пин 1.2 и 4.1 -кривой замена. Замена отсечного клапана РМ3 YV423. Проведено КТО.
• 14.04.22 Замена отсечных клапанов PM1 YV418, PM1 YV422, PM2 YV418, PM2 YV422, PM2 YV423, PM3 YV418
• 09.04.22 Реактор РМ1R8 - пин 1.4 и 4.4 -кривой замена, РМ1R10 - пин 1.2 и 4.1 -кривой замена. Замена отсечного клапана РМ3 YV423. 14.04.22 Замена отсечных клапанов PM1 YV418, PM1 YV422, PM2 YV418, PM2 YV422, PM2 YV423, PM3 YV418
  16.04.22 - Чистка фильтров воды вакуумных насосов и теплообмеников, замена уплотнений на стойках ввода-вывода охлаждающей воды РМ1-РМ3
  17.04.22 - замена прокладки на содинении охлаждающей воды, замена прокладок соединений выхлопной системы.

Робот:

• 09.04.22 Проведено КТО
• 17.04.22 Замена масла в осях, проведение ГТО. Лопатки 33мм, Вакуум -0,76 кПа, замена накладок на центровочном столе

25.02.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: РМ2 Р2 - замена реактора 1063-S-1200-11 STO 19 на 1157-S-1200-11 STO19, РМ2 Р7- замена реактора 1116-S-1200-10-STO19 на 637-S-1200-08-WIM 19 (реактор с экспериментальными пинами)

19.02.22 Паллету развернуло на слоте 10 и 9 вил при выезде из LL в РМ2. id паллеты -, кассета 150.

Ремонт: РМ2 Р1 сломана планка - замена планки №4, пин 4,3, РМ1 Р10 пин 4.4 черный - замена 1,3, 1,4, 2,4, 4,1, 4,4. Заменили уплотнение на направляющей стека LL

* Историю ремонта смотри ниже.

*чек-листы в сейфе, либо по адресу: "W:\ДГИ\ССО\СИСТЕМА ТО и Р ОБОРУДОВАНИЯ\ТО оборудования\Инструкции по ТО\HIT\KAI\Чек листы\Новые 2021"

• КАИ:
• Июнь — ПГТО (Проведено 13.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО
• РОБОТ:
• Июнь — КТО (Проведено 13.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО

1. Заменить прокладки на контуре оборотного водоснабжения
2. Заменить уплотнительные кольца на линии утилизации газов

1. PM3 Р5 - поменять местами блоки согласования

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

13.07.23 - Замена сильфона стэка на клееный

04.06.23 — Замена всех сильфонов ТМРМ на китайские Seal_Tech поставка 06/23

31.05.21 - Замена затвор всех уплотнений по наработке. 10 затвор - течь

25.02.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: РМ2 Р2 - замена реактора 1063-S-1200-11 STO 19 на 1157-S-1200-11 STO19, РМ2 Р7- замена реактора 1116-S-1200-10-STO19 на 637-S-1200-08-WIM 19 (реактор с экспериментальными пинами)

19.02.22 Паллету развернуло на слоте 10 и 9 вил при выезде из LL в РМ2. id паллеты -, кассета 150.

Ремонт: РМ2 Р1 сломана планка - замена планки №4, пин 4,3, РМ1 Р10 пин 4.4 черный - замена 1,3, 1,4, 2,4, 4,1, 4,4. Заменили уплотнение на направляющей стека LL

21.01.22 Встал вн.манипулятор в PM3. При переводе в OFF/ Standby развернуло все 10 паллет.

Ремонт: Манипулятор заехал в РМ3 с паллетами, пины поднялись, манипулятор начал выходить и встал в ошибку при перемещении. По инструкции, операторы опустили пины и сделали оff- standby манипулятора.

Обнаружены сломанные керамические плитки в РМ2 Р9. Заменили реактор установили №1082-S-120011STO19 сняли №1157-S-120011STO19.

Ошибка оператора: Манипулятор начал выходить и встал с ошибкой (вышел на некоторое расстояние). Паллеты притом лежали в реакторах на пинах. Потом они опускают пины и ложат паллеты на вилы (они теперь смещены вперёд относительно самого манипулятора). Далее пытаются выводить манипулятор с паллетами в стендбай. И они смещаются при развороте, т.к. расстояние до затворов там минимальное.

14.12.21 Корректировка позиций центровки паллет на центр. столе, корректировка загрузки/выгрузки паллет в слоты LL In / LL out (горизонт, плоскость, угол вил), корректировка загрузки/выгрузки для кассетных портов 1,2,3. Замена лопаток и фильтров вакуумного насоса АВВ робота, вакуум -0.84Бар. Замена присосок (кончик вил, левая сторона 2 слота) 1 и 2 вилы, настройка по высоте присосок на кончике вил (4 мм)

19.11.21 Останов установки для замены реактора РМ2 Р7 по причине нерабочего ТЭНа

Ремонт: Замена верхнего ТЭН реактора РМ2 Р7, замена реактора РМ2 Р4 (начали разрушаться соединения ТЭНов реактора)

18.11.21 Течь сильфона камерных затворов РМ1 №2 (на гарантии)

Ремонт: РМ1 R3 - 4.1 кривой пин (замена 4.1, 4.4), R5 - сломана планка №3 (замена планок на титановые, замена пинов 2.4, 3.2, 3.3, 3.4, 4.4), R8 - сломана планка №3 (замена планок на титановые), 1.4 кривой пин (замена пинов 1.4, 3.2, 3.3, 2.1), R9 - 4.1 кривой пин (замена), R10 - сломана планка №1 и пин 4.4 (замена планок на титановые, замена пинов 1.2, 1.4, 3.3, 3.4, 4.4); РМ2 R10 - пин 2.1 (замена), R7 - сломаны планки №2, 3 (замена планок и пинов 2.3, 3.3, 4.3, 3.4), РМ3 R4 - сломана планка №2 (замена планки и пинов 1.1, 1.2, 1.3, 1.4), R3 - замена пинов 2.3, 4.1, 4.2, 4.3, R1 - 2.3 замена пинов. Замена сильфонов привода затворов: 1, 2, 4, 5, 6. Проведение ГТО установки. TO ABB

16.09.21 Паллету развернуло на слоте 8 вил при развороте в РМ2 из LL. id паллеты - , кассета 102.

Ремонт: Керамика в норме. Транспортный тест. Выявлено отклонение вил робота по горизонту. При загрузке в стек расстояние от края паллеты (дальний от основания вил) до дальнего ряда пинов ок. 5мм. Есть вероятность того, что при загрузке паллета может цеплять пины и смещаться.

14.09.21 Течь сильфонов камерных затворов (5,6) РМ3

Ремонт: РM1R8 пин1.4 кривой, PM3R9 пин1.2 кривой - Ремонт, замена сильфонов №5, 6, устранили утечку воды на контуре охлаждения насосов РМ1, РМ2, LL. Провели МТО LL. Утечка воды с плиты охлаждения 14-й слот стека LL. Заменили плиту охлаждения

31.08.21 Течь сильфона №2 - замена на новый

Ремонт: Заменили сильфон привода камерных затворов №2 и №3 (был б\у). Заменили два отсечных затвора в РМ2 YV422 и YV423. Провели КТО установки КАИ и ГТО робота АВВ. Обслужили внутренний манипулятор.

21.08.21 14:49 – 16:40 Останов по скачку напряжения

20.07.21 Течь сильфона №3 - Замена на б/у

Ремонт: Проверены пины реакторов: РМ1 Р6 сломана планка 3, Р9 сломана планка 2, РМ2 Р7 пин 2.4 кривой.

Заменили неисправный сильфон №3 привода затворов РМ2. PM1R6 заменили пины 1.1, 3.1, 3.2, 3.3, керамические планки 1 и 3. PM1R9 заменили пины 2.3, 3.4, 4.4, керамическую планку 2. Провели работы согласно чек-листу, провели МТО установки, МТО робота АВВ. Отвакуумировали установку, провели гелиевое течеискание, провели калибровку датчиков давления PM3 Chamber Baratron, PM2 Process Baraton, PM3 Chamber и Process Baraton. Провели холодный RLC-тест, нагрели установку, провели горячий RLC-тест.

15.06.21 Течь сильфона №2 (повторно) - Замена на б/у

11.06.21 Течь сильфона №2

Ремонт: Замена сильфона №2 на б/у (МЦ07), PM1R7 пин4.4 кривой, PM1R6 пин1.4 кривой, PM1R5 сломана керамическая планка1, PM1R3 пин2.4 кривой.

24.05.21 Сместились паллеты при загрузке в РМ2 (10 шт), ударившись об реакторный затвор. Реакторный затвор не до конца поднялся из-за смещенной и подклинивающей сильфонной муфты.

Ремонт РМ1: Р8 сломаны планки 1 и 3; Р6 сломана планка 2, поправили и затянули крепеж сильфонной муфты реакторного затвора РМ2, осмотрели и протянули крепеж муфт РМ1 и РМ3, провели ПГТО

16.04.21 - Замена сильфона №1.

Ремонт реактора РМ2 Р1 - сломана планка №4

01.04.21 - Течь камерных затворов РМ2 - замена уплотнений, также после осталась паллета в РМ2 Р1.

Ремонт реактора РМ1 Р1 - замена пинов

24.03.21 - Останов завод на ТО.

Ремонт РМ1: R10 - замена пинов 2.3, 3.3, планки 2.

27/02/21

РМ1: Р7 - пин 1.4 кривой, Р7 замена 1.4 4.4 4.2
РМ2: Р5 - вылетела планка №4 из паза. Требуется корректировка правой ближней подъемной стойки пинов по высоте и установка скоб. Откорректировали стойку

В РМ1 на все планки всех реакторов со стороны ТМ установлены ограничительные скобки