Работы_на_установках
July 2, 2020

Работы на KAI7 и ABB7 (Обновлено: 13.07.23 Открыто: 12.06.23)


Общая информация

  • 04.06.23 — Замена планок на титановые (сплав ВТ06) в реакторе РМ1 Р2
  • 04.06.23 — Замена планок на титановые (сплав ВТ06) в реакторе РМ3 Р3
  • 27.12.21 Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3
  • 02.04.22 Двигатель линейного перемещения не достиг заданного значения при заезде в РМ1. Изменили параметр рассогласования с 1000 на 1500.

Последнее вскрытие: 12.06.23

12.06.23 - Осталась паллета в РМ1 Р2. Манипулятор заехал в РМ1 с новой партией паллет и застрял.

Ремонт: Ремонт реактора с заменой РМ1 Р2 260-S-1200 08 PRC 19 на 266-S-1200 08 в РМ1 и проведение ПГТО.

15.04.22 Замена прокладок контура водяного охлаждения, Замена отсечных затворов PM1 YV418, PM1 YV422, PM2 YV418, PM2 YV422, Замена уплотнительных колец линии утилизации газов, Замена подшипников-роликов двери загр.модуля, Проведено ГТО

14.04.22 Перекрыли полностью контур охлаждения (прямая, обратка) на установке.

Заменили прокладки: РМ1, РМ2, РМ3 от верхнего коллектора до насосов, включая сам коллектор. (РМ1 остался только под платформой и опрессовку)

09.04.22 Остановили для проведения ТО

01.04.22 Осталась паллета в PM1 8 слот, кассета 5 на вилах манипулятора, кассета 70 в PM2

Ремонт: РМ1Р9 замена сломанной планки 4, пин 1,1; 1,4; 2,2; 2,3; 2,4; 3,2; 3,3; 3,4; 4,3; 4,4; Р8 замена планок 1,3,4 пины: 1,1 1,4; 2,1; 2,2; 2,3; 2,4; 3,2; 3,4; 4,3; 4,4; Р7 замена планки 1 пины:1,2; 2,2; 2,4; 3,1; 3,3; 4,4; Р5 замена пина 4.1 пин 4,1.

* Историю ремонта смотри ниже.


Список работ на установке


ТО 2023

Файл планируется и актуализируется совместно с ПДО

W:\Производственная служба\47. Планирование ТО линии\Копия План-график ТО 2023 (002).xlsx

*чек-листы в сейфе, либо по адресу: "W:\ДГИ\ССО\СИСТЕМА ТО и Р ОБОРУДОВАНИЯ\ТО оборудования\Инструкции по ТО\HIT\KAI\Чек листы\Новые 2021"

  • КАИ:
    • Июнь — ПГТО (Проведено 12.06.23)
    • Июль - МТО
    • Август - МТО
    • Сентябрь - КТО
  • РОБОТ:
    • Июнь — КТО (Проведено 12.06.23)
    • Июль - МТО
    • Август - МТО
    • Сентябрь - КТО

Без охлаждения


При охлаждении

  1. Заменить пневмоцилиндры ТМРМ для РМ3 (2 шт). Код 1С 50920, Артикул: CP96KDB100-125CW. (Находятся на складе дефектовки после переборки и замены уплотнений). С сильфонами обращаться аккуратно, т.к. на гарантии.

Отсечные затворы VAT

  1. Выполнить ревизию отсечных затворов VAT без дат последней переборки, либо если срок больше года
  2. Заменить отсечной клапана РМ3 YV423 - ошибки

Состояние робота АВВ

  1. Течь масла с оси 3 - требуется замена уплотнения

ВЧ-генераторы и блоки согласования

  1. РМ3 Р4 - Заменить генератор на новый, либо блок согласования на новый (поставили 27 августа), либо реактор на новый (поставили 19 мая), кабель тоже стоит новый (20 мая)

Даты замены сильфонов

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

16.04.23 - Замена сильфона стека на Б/У отремонтированный

02.09.23 - Замена сильфонов ТМРМ №2, 3 на китайские, производства Seal_Tech (партия 12/22), купленные через Интек_Аналитика

21.01.22 Замена сильфонов камерных затворов на экспериментальные от СтратНаноТек (Минск)

Даты замены пневмоуплотнений

Высота вил внутреннего манипулятора

Загрузка паллет в LL
На вилах манипулятора относительно затворов Тм-LL

Высота положений стека LL

История открытия установки на ТО и ремонт

01.04.22 Осталась паллета в PM1 8 слот, кассета 5 на вилах манипулятора, кассета 70 в PM2

Ремонт: РМ1Р9 замена сломанной планки 4, пин 1,1; 1,4; 2,2; 2,3; 2,4; 3,2; 3,3; 3,4; 4,3; 4,4; Р8 замена планок 1,3,4 пины: 1,1 1,4; 2,1; 2,2; 2,3; 2,4; 3,2; 3,4; 4,3; 4,4; Р7 замена планки 1 пины:1,2; 2,2; 2,4; 3,1; 3,3; 4,4; Р5 замена пина 4.1 пин 4,1.

29.02.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: реактор РМ1Р10 - замена планки №1, пинов 1.4, 1.3, Реактор РМ1 Р7 - замена пина 3.4, Реактор РМ2Р7 - замена пина 1.4, Реактор РМ3Р7 - замена 2.4. Чистка фильтров вакуумных насосов и теплообменников. ПГТО

11.02.22 Паллета из 2 реактора застряла между вил внутреннего манипулятора при выезде из РМ1 . id паллеты - 0065, кассета 1

Ремонт: При осмотре выявили РМ3 Р2 сломана планка №4. Замена. РМ3 Р2 сломаны пины 4.1, 4.2, 4.3, 3.1, 3.2. Рм1 Р2 3.1, 4.1, 4.3, 4.4. Замена пинов. Настройка вил ВМ.

21.01.22 Проведение ПГТО и

21.01.22 Проведение ПГТО и замена сильфонов камерных затворов на экспериментальные от СтратНаноТек (Минск)

Ремонт: РМ2 Р2 - замена пинов 1.4, 2.4, 3.4, 4.4, РМ3 Р9 - замена пинов 1.4, 3.4, 3.3, PM1-3 замена камерных сильфонов затворов, Проведение ПГТО, КТО

11.01.22 Течь сильфона №2 РМ1

Ремонт: Заменили сильфон привода камерных затворов. При осмотре реакторов обнаружено: PM1R7 сломана планка 2, PM1R4 кривые пины, PM2R5 сломан пин 4.4. Провели ремонт реакторов. Собрали установку. Устранили течь теплообменника РМ2, устранили течь на контуре охлаждения вакуумных насосов TM и LL.

30.10.21 Паллету развернуло на слоте 4 вил при заезде в LL из TМ. id паллеты - , кассета 121.

Ремонт: РМ1 Р8 — сломана керамическая планка № 4, PM1 Р9 — сломана керамическая планка № 1, Р4 — пин 2.4 сломан, Р3 — пин4.1 кривой, Р5 — пин 2.4 кривой. РМ3 Р1 — пины 1.4 кривой, 2.4 сломан. РМ1 Р4 заменили пины 1.4, 2.4, 3.1, 4.3, РМ3 Р1 пины 1.4, 2.2,2.3,2.4,3.1,3.2,3.3,3.4,4.1,4.2,4.4.

22.08.21 Течь сильфона привода №5 камерного затвора PM3

Ремонт: РМ1: Р3 заменили пины 3.1, 4.1, 4.3, Заменили сильфоны привода реакторных затворов 6 штук.

28.07.21 ВМ встал в ошибку при заезде в PM1, осталась паллета 243 R7.

Ремонт: Осмотрели реактора: РМ1R7 сломаны пины 1.1, 2.4, 3.1. Замена

12.07.21 Развернуло паллету на вилах манипулятора слот 2

Ремонт: Произведена замена неисправных пинов РМ1 в Р1 (4.2), Р2 (1.1). Проведено МТО установки.

15.06.21 Паллета осталась в PM1 R3

Ремонт: РМ1 Р3 погнута планка №4 выпрямили, пин1.3, 3.1, 4.3, 4.4 заменили, РМ3 Р3 пины 1.1,1.2, 2.2, 2.4, 3.2, 3.3, 3.4, 4.2-заменили.

13.06.21 Паллета осталась в PM1 R4 cas132 id0008

Ремонт: РМ1 Р2 смещение планки или вылетела с паза, поправлена. Замена пинов РМ1 Р4 (4.1 сломан), Р2 (2.4 сломан). Заменён винт крепления реактора 2 РМ1. Смещены муфты привода затворов реакторов РМ1, РМ3 на 5 мм в сторону РМ, РМ2 на 5 мм в сторону привода. Дополнительно проведены работы в объёме КТО установки, КТО робота загрузчика.

04.06.21 Паллета 158 остались в РМ1 R1

Ремонт: РМ1 R1 замена керамических пинов 2.2, 2.3, 2.4, 3.2, 3.3, 3.4. Выпрямили титановые планки. Муфта реакторных затворов РМ2 отодвинули от РМ и протянули крепеж, РМ3 отодвинули от привода и протянули крепеж.

19.05.21 Проблемы с плазмой (ВЧ-генератором) реактора 4 РМ3

Заменили реактор 4 РМ3, ремонт реакторов РМ3 Р1 (замена пинов 2.4, 3.4 - кривые), Р9 - замена пинов 2.2, 2.3, 3.2, 3.3, 3.4 (кривые и затертые), РМ1 Р1 - замена пинов 4.1, 4.2 - кривые

14.05.21 Паллету развернуло на слоте 5 вил при выезде из РМ1 к LL id паллеты - 0307, кассета 167

РМ1:R5 1.1, 2.1, 3.1, 3.4, 4.1, 4.4 - погнуты (срезаны), осмотр планки 4; заменили в R5 пины 1.1, 1.4, 2.1, 2.4, 3.1, 3.2, 3.3, 3.4, 4.1, 4.4 ; R3 заменили пин 2.4
РМ2: R2 пин 4.4 - черный, заменили; R5 заменили пины 1.4, 2.4, 3.4, 4.4; R9 заменили пины 1.4, 2.3, 4.4. Пины поставили оригиналы

06.05.21 Паллета осталась в 5 реакторе при выезде из РМ1. id паллеты - 0729, кассета 74.

РМ1: Р3 - замена пинов 1.2, 2.2, 2.3, 2.4, 3.1, 3.2, 3.3, 4.2, 4.4.; Р4 - замена пина 2.4, 3.4 кривые; Р10 - замена пина 2.4 кривой. Р5 замена всех пинов 16 штук, поправили титановые планки. Пины короткие 43мм установили китайские

31.03.21 Паллета осталась в реакторе 5 в РМ1 . id паллеты - 716, кассета 153

Произведён ремонт планки №1 Р5 РМ1 (кривая), замена планки №1 Р3 РМ3. Заменены пины 1.2, 2.4 в Р3 РМ3. Проведена коррекция высоты вил. Заменён реакторный затвор Р5 РМ1. Установлена перемычка на термопару Р3 РМ1 (В4306.6 выведен из работы).

26.03.21 Паллету развернуло на слоте 3 вил при заезде в LL из PM1. id паллеты - 0601 , кассета 167

При осмотре реакторов выявлено PM1R3-пин 1.4 кривой, пин 4.4 сломан; PM3R3-пин 1.4 кривой; PM3R1-пин 1.4 кривой. Провели ремонт реакторов PM1R3, PM3R3, PM3R1

24.03.21 Останов завода на ТО

04.03.21 Паллету развернуло на слоте 2 вил при заезде в LL из РМ1. id паллеты - 721, кассета 153.

РМ3: При проведении транспортного теста LL-PM3 выявили, что R3-R9 при выходе вил ВМ с PM малое расстояние между вилами и паллетой лежащими на пинах. Увеличили параметр пинов (Top) было 24 мм стало 25мм.
LL смещены паллеты, стек не отцентрован. Выровняли положение стека

23.02.21 Течь сильфона №5 - замена

Ремонт:РМ1: Р4 - планка 4 сломана, пин 4.2 сломан. - установлены титановые планки, Р3 - пин 3,4, 2,1, 2,2 сломаны - замена
РМ3: Р5 пин 3,4, 1,4, 3,1, 4,4, 4,3 сломаны - замена

29.01.21 Паллета сместилась при выгрузке из РМ1 в LL (попала под вилы) на слоте 5 (реактор 5 - опять). При осмотре выявили в Р5 сломанный пин 2.1, кривой 1.4.

РЕМОНТ:РМ1: Р7-2.4 3.4-кривые, P6- 2.4и 3.4 -кривые, P5-1.4-кривой 2.1-сломан, P4- 2 сломана, РМ2: Р2-4.4-кривой, РМ3: P1-1.4-кривой, P6-2.4-кривой
Так же попробовали подобрать параметры привода внутреннего манипулятора для устранения шума и вибрации при вращении манипулятора. Подобрали параметр #153 = 125 (было 270), при котором шум и вибрации при вращении с паллетами устранился, но остался в районе РМ2 при вращении без паллет. Дальнейшие изменения параметров, а так же второго параметра #154 успеха не дало, появился гул двигателя при работе.