Работы на KAI8 и ABB8 (Обновлено: 13.07.23 Открыто: 14.06.23)

• 14.06.23 Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23)
• 16.03.22 Замена сильфона охлаждения на новую систему охлаждения LL
• 27.12.21 Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3

#In the process of updating

14.06.23 — Течь сильфона камерного затвора №1.

Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23) — была течь сильфона № 1. Ремонт реактора № 5 в РМ1. Провели ПГТО.

01.04.22 — Течь сильфона привода № 5

Ремонт: Замена сильфона

25.03.22 — Встал внутренний манипулятор

Ремонт: Заклинил ролик вращения ремня линейного перемещения. Разобрали, проверили, ничего не нашли, собрали обратно. Провели замену реактора РМ2Р8 938-S-1200 11 STO 19 на 1063-S-1200 11 STO 19 в РМ2

08.03.22 — Течь камерного затвора РМ3

Ремонт: Демонтировали камерные затворы РМ3 для проверки. Провели шлифовку и чистку затворов. Заменили уплотнение вакуумных затворов. Собрали затворы, проверили прижатие затворов, по результатам теста выявлено неудовлетворительное прижатие 1-го затвора. Поменяли местами затвор 1 и 7. Подложили пластину под пружины 1 затвора. Зазоров нет.

07.03.22 — Во время выгрузки паллет в ручном режиме, оператор не проверил позицию VDR. Паллеты уперлись в пины плит охлаждения LL.

Ремонт: Охладили и отвентилировали установку. Осмотрели РМ без замечаний. Провели транспортный тест, провели замену пинов в 10м слоте, настроили позицию выгрузки LLout по оси z на -1.5мм(вилы при заезде задевали паллету). Заменили переднюю присоску на нижней виле. Поправили крепеж плиты стека - паллета задевала этот крепеж

* Историю ремонта смотри ниже.

*чек-листы в сейфе

• КАИ:
• Июнь — ПГТО (Проведено 14.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО
• РОБОТ:
• Июнь — КТО (Проведено 14.06.23)
• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО

#In the process of updating

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

14.06.23 — Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23) — была течь сильфона № 1

30.03.23 - Установлен тестовый сильфон стэка Китайского производства Seal_Tech

16.03.22 - Замена сильфона ввода воды на шланги

#In the process of updating

15.11.21 Замена пневматического уплотнителя затвора №7

26.06.21 - замена всех 10 шт на новые (поставка май 2021 по гарантии)

01.04.22 — Течь сильфона привода № 5

Ремонт: Замена сильфона

25.03.22 — Встал внутренний манипулятор

Ремонт: Заклинил ролик вращения ремня линейного перемещения. Разобрали, проверили, ничего не нашли, собрали обратно. Провели замену реактора РМ2Р8 938-S-1200 11 STO 19 на 1063-S-1200 11 STO 19 в РМ2

08.03.22 — Течь камерного затвора РМ3

Ремонт: Демонтировали камерные затворы РМ3 для проверки. Провели шлифовку и чистку затворов. Заменили уплотнение вакуумных затворов. Собрали затворы, проверили прижатие затворов, по результатам теста выявлено неудовлетворительное прижатие 1-го затвора. Поменяли местами затвор 1 и 7. Подложили пластину под пружины 1 затвора. Зазоров нет.

07.03.22 — Во время выгрузки паллет в ручном режиме, оператор не проверил позицию VDR. Паллеты уперлись в пины плит охлаждения LL.

Ремонт: Охладили и отвентилировали установку. Осмотрели РМ без замечаний. Провели транспортный тест, провели замену пинов в 10м слоте, настроили позицию выгрузки LLout по оси z на -1.5мм(вилы при заезде задевали паллету). Заменили переднюю присоску на нижней виле. Поправили крепеж плиты стека - паллета задевала этот крепеж

28.02.22 — Останов завода на ТО

26.02.22 — Паллету зажало затвором LLна слоте 7 при заезде в LL из РМ3., кассета 31.

Ремонт: замечено небольшое смещение паллеты в LL в сторону ТМ в 7 слоте. Закрыли затвор через пневмораспределитель. Отвентилировали LL, поправили паллету в 14 слоте. Проверили повторно позиции LL. Проверили посадочное место грибка стэка, проверили затяжку винтов. Проверили пины и верхнюю направляющую. Осмотрели привод стэка, затяжку стопорных винтов. Все в норме.

25.02.22 — Останов на ремонт внутреннего манипулятора

Ремонт: PM3R1 пин 4.4 кривой, заменили пины 2.4, 3.4, 4.4, 4.2, Чистка и переборка подшипников вращения ВМ, замена 1 шт. Проведено КТО установки

07.01.22 Скачок давления в ТМ. Течеискание гелиевое - течь сильфона №2

Ремонт: Замена сильфона №2 PM1

21.12.21 Встал внутренний манипулятор при загрузке паллет в РМ1

Ремонт: Проверили позиции манипулятора, при ручном управлении и попытке вывода в режим ожидания манипулятор двигается около 10мм, ПЧ поз.А3560.0 в ошибке.

РМ1R6 заменили 1 планку и пин 1,2, РМ2R9 заменили планку 3 и пин 3,3. Провели ПГТО установки, МТО АВВ робота. Почистили/смазали направляющие/ВМ, ВМ ходит туго, стружка на направляющих. Произвели замену подшипников линейных направляющих 4 штуки. Замена прокладки на контуре охлаждения РМ1. Поправили муфту реакторных затворов РМ1. Выполнили проверку высоты вил ВМ. При выходе установки в стэндбай мачбокс РМ2 MB4 был в ошибке, заменили на новый.

08.09.21 Течь сильфона №1 камерных затворов

Ремонт и ТО: Замена сильфонов №1, 6. Проведена проверка упорного подшипника ШВП на износ, проверка редуктора и двигателя на посторонний шум, проверка разъёмов двигателя и резольвера (замечаний не обнаружено). КТО КАИ, МТО робота.

21.08.21 14:49 – 16:30 Останов по скачку напряжения

13.08.21 Течь сильфона камерных затворов №2

Ремонт: Замена сильфона №2 (течь), 3 (планово), 4 (планово), 5 (планово)

02.07.21 Осталась паллета в РМ2 реактор 1

Ремонт: Замена пина 4.4 Р1 РМ2, пина 3.4 Р4, пинов 2.4, 3.4 Р9 РМ3. Поправлена сильфонная муфта привода реакторного затвора РМ1.

13.06.21 Течь сильфона №3

Заменили сильфон РМ2 №3 (б/у)

11.06.21 Течь сильфона №5

Заменили сильфон РМ3 №5 (б/у). Провели ГТО (чистка фильтров насосов и теплообменников, протяжка силовых контактов, провели ГТО робота АВВ)

11.05.21 Течь сильфона №1

Заменили сильфон РМ1 №1. Проверили пины, планки в реакторах. Проверили пины в LL. Слили воду с контура охлаждения LL. Поставили блокировку в шкафу управления на модуль А814.3, датчик потока поз.В760.3 - проведение эксперимента по работе LL без охлаждения водой. Протянули коллекторы, проверили вилы. Смазали направляющие внутреннего манипулятора.

24.03.21 - Останов завод на ТО

17.03.21 Замена сильфона №6

13.02.21 Паллету развернуло на слоте 10 вил при заезде в РМ1 из РМ3. id паллеты - 0658, кассета 109.

РЕМОНТ: РМ1: R1 сломана планка 2, Р7 - пины (2.4, 3.4) - кривые, Р6 - пин (3.4) - кривые, Р3 - пины (2.4, 3.4) - кривые. РМ3: R10 пин 3.4, 4.1 кривые, заменили пины 2.4, 3.4, 1.2, 4.1