Работы на KAI9 и ABB9 (Обновлено: 12.10.21 Открыто: 23.03.21)



Последнее вскрытие: 23.03.21

23.03.21 Останов завода на ТО

* Историю ремонта смотри ниже.


Список работ на установке


ТО

  1. КАИ:
    • Сентябрь — МТО (Выполнено 28.09.21)
    • Октябрь — ГТО
    • Ноябрь — МТО
  2. Робот:
    • Сентябрь — ГТО (Выполнено 28.09.21)
    • Октябрь — МТО
    • Ноябрь — МТО

Без охлаждения

Механика:

  1. Настроить муфту привода затвора РМ1 - сдвинута в сторону каи, стружки нет
  2. Настроить муфту привода затвора РМ2, сдвинута в сторону КАИ, есть СТРУЖКА
  3. Восстановить пины LLin слот 5 - 3.1, 3,2

При охлаждении


ВЧ-генераторы и блоки согласования

  1. РМ2 Р6 - Поменять местами блоки согласования

Даты замены сильфонов

11.09.21 - Замена сильфона ввода тех.сред в LLin (правый)

15.06.21 - Замена сильфона ввода тех.сред в LLin (центральный)

Высота вил внутреннего манипулятора

Высота позиций стека LLin и LLout

Примечание:

29/12/20 Было принято решение опустить стэк LLout, т.е. увеличить расстояние от кончиков пинов до паллеты на 1.5 - 2.0 мм. для позиций 2 и 4 стэка. Для этого в приводе LLout изменил BIAS для 2ой позиции с 18.5 до 20.0 мм, для 4ой позиции с 97.5 до 99.5мм. 1ую и 3ю позиции не меняли.

Высота позиций LLout после изменения

История открытия установки на ТО и ремонт

23.03.21 Останов завода на ТО

Ремонт: РМ2: R5 пины 4.1, 4.3; планка 4; R8 пины 4.1, 2.4, 2.3; планка 4

29.12.20 LLout зажало паллету затворами LL-TM в 7 слоте (4 слот вил ВМ).

При осмотре LLout верхняя направляющая целая, сломанные пины отсутствуют, стэк стоит плотно. Охладили установку для проверки реакторов на наличие повреждения керамики, все целое. Заказали две кассеты для проведения транспортного теста. В ходе теста при выгрузки паллет из ТМ в LLout (4 позиция VDR) было замечено минимальное расстояние от пинов до паллеты 2-3 мм. У некоторых пинов были сбиты пластиковые кончики.
Было принято решение опустить стэк, т.е. увеличить расстояние от кончиков пинов до паллеты на 1.5 - 2.0 мм. для позиций 2 и 4 стэка. Для этого в приводе LLout изменил BIAS для 2ой позиции с 18.5 до 20.0 мм, для 4ой позиции с 97.5 до 99.5мм. 1ую и 3ю позиции не меняли. Сделали замеры позиций для LLin и LLout для архива. Шумит привод VDR LLout, смазка чистая.