Работы на KAI3 и ABB3 (Обновлено: 17.07.23 Открыто: 16.06.23)

• 16.06.23 — Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23)
• 09.08.22 — Замена сильфона охлаждения на новую систему охлаждения LL (шланги)
• 27.12.21 — Перекрыли подачу воды на RPS PM2, PM3

#In the process of updating

16.06.23 — Течь сильфона камерного затвора № 6.

Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23). Ремонт реактора РМ1 R8 (сломан пин 4.4).

16.04.22 - Встал внутренний манипулятор при выезде из PM3

* Историю ремонта смотри ниже.

• КАИ:

• Июнь — ПГТО (Выполнено 10.06.23)

• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО
• РОБОТ:

• Июнь — КТО (Выполнено 10.06.23)

• Июль - МТО
• Август - МТО
• Сентябрь - КТО

#In the process of updating

10.06.23 — Замена отсечного затвора РМ2 YV423 (были ошибки — ставили перемычку)

1. Если на клапане нет бирки, или на бирке нет даты переборки, или дата переборки более года (снять для ревизии заменив их подменными) отсечные затворы VAT

#In the process of updating

Новые китайские сильфоны стэка - аналоги Код 55319 Сильфон ST132*102*FL210

14.07.23 - Замена сильфона стека на новый Seal_Tech (Китай Партия 07/23)

16.06.23 — Замена сильфонов ТМРМ (6 шт.) на Seal_Tech (Китай партия 06/23) — была течь сильфона № 6

09.08.22 — Замена сильфона охлаждения на новую систему охлаждения LL (шланги)

#In the process of updating

#In the process of updating

12.04.22 — ВМ упирается при заезде в РМ1. Охладили при осмотре обнаружили что в РМ1 Р10 сломаны пины из-за этого паллета сместилась и наклонилась, ВМ упирается вилами в паллету.

Ремонт: РМ1R10 замена реактора 1137-S-1200 10 STO 19 на 010-S-1200 08 ETGA 19; PM1R3 замена пинов 1.1 1.4 4.4; PM1R2 замена пинов 1.1 1.4 3.4 2.2; PM1R1 замена пинов 1.3 2.2 2.3 3.1 замена планки 1

Замена пневмоцилиндров PM2 PM3 камерных затворов №4 и №5. Проведено КТО ABB робота. Замена подшипников на направляющей двери LL
Замена вакуумного насоса LL 31000477450F на 31000485749F

23.03.22 — PM1 сломан крепеж камерного затвора № 7

Ремонт: Заменили затвор 7 PM1. Заменили поврежденную пружину. Прогнали резьбу на винтах.

01.03.22 — Останов установки на ТО (Останов завода)

Ремонт: РМ1 Р4 замена пина 4.2 (черный кривой), РМ1 Р7 - замена пина 3.4 (сломан)

15.02.22 — Осталась паллета (ID 306) в РМ1 R7.

Ремонт: При выгрузке паллет встал в ошибку внутренний манипулятор. При проверке выявлена оставшаяся паллета в РМ1 R7. Установка поставлена на охлаждение в автоматическом режиме. Открыли, извлекли паллету, паллета деформирована. Провели осмотр реакторов, без замечаний, настроили вилы ВМ, провели транспорт тест, закрыли поставили на откачку.

09.03.22 — Паллету зажало затвором LL TM на слоте 9 при заезде из TM в LL. id паллеты — 0415, кассета 170.

Ремонт: PM1R3 пин 4.4, 3.4 кривой. Произвели ремонт реактора PM1 R3, провели ревизию подшипников радиальных направляющих ВМ

08.02.22 — Остались 2 паллеты в LL при выезде в РМ3

Ремонт: Замена ШВП стека LL, замена подшипников скольжения, упорного подшипника, замена втулки направляющей стека LL, восстановление пинов слота 1, 7 (LLin слот 1, 4), протяжка крепежа подшипников радиальных направляющих, замена смазки в подшипниках, корректировка параметра #154 (было 100, стало 110), транспортный тест с паллетами и без, проведено КТО КАИ и КТО робота АВВ, замена отсечных клапанов (РМ1 YV422, PM2 YV423, TM YV304) на дефектовку.

28.01.22 — Осталась паллета в РМ1 Р3. id паллеты — 0708, кассета 31.

Ремонт: PM1R10 сломан пин 1.4, PM1R3 сломан пин 4.4, и пин 4.4 кривой, PM3R3 сломан пин 2.1, PM3R1 сломана планка №4. Подготовили установку к выгрузке реакторов. Провели ремонт реакторов, заменили реакторные затворы РМ1 Р2,3. Поменяли местами привода камерных затворов Рм1 с Рм3.

14.01.22 Паллету развернуло на слоте 1 вил при движение из PM1в LL. id паллеты - 0390, кассета 107.

Ремонт: При осмотре обнаружили РМ1 Р1 сломаны планки 2,4 (заменили планки), заменили пины РМ1 Р1 пин 2.1, 2.4, 4.1, 4.2, 4.3, 4.4. Настроили вилы ВМ слот 1,2. Провели смазку направляющих. ВМ был скрип. Заменили отсечные клапана, РМ1,2 камерные RС1-2 реакторный. Провели МТО установки, МТО робота.

26.12.21 Паллету развернуло на слоте 9 вил при выезде из РМ1 в LL Out. id паллеты - 0055, кассета 169

Ремонт: По результатам осмотра, настроили положение стека LL. зафиксировали раскрученный крепеж. После вентилирования провели проверку реакторов. Выявлена сломанная керамическая планка в реакторе 5 РМ2. Произвели ремонт реактора, заменили керамическую планку 4, пины 4.3, 4.2. Заменили уплотнение затвора реактора. Провели транспортный тест, отклонений в загрузке паллет в реакторы не выявлено.

20.12.21 Паллету развернуло на слоте 9 вил при выезде из РМ1 в LL Out. id паллеты - 0659, кассета 109

Ремонт: Вскрыли установку, провели осмотр PM1-3,LL,TM. Провели транспортный тест с паллетами, без замечаний. Проверили загрузку/выгрузку роботом, без замечаний.

14.12.21 Внутренний манипулятор заклинил. Не вращается и не выходит в стендбай. Сразу встает в ошибку.

Ремонт: Выкрутившийся потайной винт блокировал перемещение манипулятора. РМ1: R6: замена пинов 2.1, 3.1, 3.4, 4.3. R7: замена пинов 1.2, 2.4, 4.4. РМ2: R9: замена планки №4, замена пинов 1.3, 1.4, 4.2, 4.3

02.12.21 Останов для замены реактора РМ2 Р4 по ошибке плазмы

Ремонт: Заменили реактор РМ2 R4 - снят 1148-S-1200 11 STO 19, установлен 742-S-1200 08 WIM 19. Заменили сломанный пин 3.4 в PM1 R3. Почистили и смазали направляющие внутреннего манипулятора. RLC тест выявил течь с реакторов РМ1: устранена не герметичность системы на правом коллекторе. Тест герметичности камеры РМ выявил не герметичность затворов РМ1: заменён камерный затвор Р1 РМ1 (деформирован в обратную сторону).

20.11.21 Паллета осталась в реакторе 1 РМ1 при выезде из РМ1 в LL. id паллеты - 0733, кассета 74.

Осмотр: PM1R10 пин 4.4 сломан, PM1R11 пин 4.1 сломан, PM2R10 сломана планка №1, PM1R5 пин 1.4 кривой.

Ремонт: Провели ремонт реакторов (PM1R1 установили керамические планки вместо титановых), ГТО установки, проведен транспортный тест

11.11.21 Паллету развернуло на слоте 1 вил выезде из РМ1 в LL. id паллеты - 286, кассета 167.

Осмотр: РМ1 Р8 - 4.4 кривой пин, РМ1 Р1 - 1.4, 4.1 сломан, 3.1, 4.4 кривой, РМ2 Р2 4.1 кривой

Ремонт: Провели ремонт реакторов, проведен транспортный тест.

08.11.21 Осталась паллета в РМ1 Р4, id паллеты - 632, кассета 130

Ремонт: Восстановили геометрию титановых планок в R10 PM1. Заменили керамические штыри в РМ1 R10 1.1, 1.2, 1.3, 1.4, 3.4, 4.4, R4 1.1, 1.2. Выполнили ремонт реакторов R10, R4 PM1. Осмотрели вилы, имеется незначительное расслоение на концах вил. Провели чистку и смазку узла транспортного модуля. Извлекли слота 20 и 7. Заменили неисправные пины 20 слот 3.3, 7 слот 2.4.

02.11.21 Течь сильфона камерного затвора №1 и 6 до е-3. 4 и 5 сильфон до е-5

Ремонт: Произвели замену сильфонов привода реакторных затворов - 6 штук. Заменили отсечные затворы на РМ3 - один камерный 250мм и два реакторных 200мм. Заменили две прокладки на трубопроводе охлаждения вакуумных насосов РМ3 (обратка)

09.10.21 Течь сильфона № 1 камерного затвора

Ремонт: РМ1: Р10 пин 4.4 сломан. Р4 пин 4.4 сломан. Р3 пин 4.4 кривой. Р2 пин 1.3, 4.1 кривые. Заменили сильфон привода камерных затворов №1
РМ1: Заменили пины 4.1, 4.4 в R10, пин 4.4 в R4, пин 4.4 в R3, пин 1.3, 4.1 в R2. Провели МТО установки

23.09.21 Течь сильфона №4 камерного затвора. Замена на б/у

09.09.21 Течь сильфона №2 камерного затвора

Ремонт: МТО АВВ робота. Замена сильфона привода затворов №2.

25.08.21 Порвался ремень внутреннего манипулятора на обратный ход. Целый ремень намотало на ролик, и манипулятор вместо обратного хода перемещался в противоположную сторону (загрузка). Манипулятор остановился в РМ1.

Ремонт: Замена 2-х ремней манипулятора

21.08.21 14:49 – 16:26 Останов по скачку напряжения

26.07.21 Паллету зажало на слоте 10 между вилами. При выезде из РМ1 встал в ошибку вн.манипулятор. (путь РМ2-РМ1) id паллеты - кассета 68.

Ремонт: РМ1: Замена пинов R10 1,1 1,2 2,1 3,1 4,1 3,3 4,1 4,2 4,3 4,4; R7 4,4

03.07.21 Течь сильфона №1 РМ1

РМ1: R2 сломан пин 1.1 - замена, R5 кривой пин 4.1 - замена, РМ2: R7 замена реактора (сломана термопара), пин 4.2 кривой, РМ3: R1 замена планки, пин 4.3 кривой -замена, R2 пин 4.2, МТО КАИ1 и АВВ

Заменён Р7 РМ2 (сломан термопара): демонтирован 1121-S-1200-10-STO-19, установлен 954-S-1200-11-STO-19.

26.05.21 При загрузке осталась паллета в LL слот 11 слот (LLin 6 слот) - сломан пин 1.4

РЕМОНТ: РМ1: замена реактора 430-S-1200 08 PRC 19 на 1137-S-1200 10 STO 19.(плохое качество ячеек) РМ2: R8 - 4 планка сломана, замена. Замена пинов 4.1, 4.2, 4.3.
РМ3: R1 - 4 планка сломана, замена, R8 - 4 планка сломана, замена пинов 4.2, 4.3, R10 - замена реактора 320-S-1200 08 PRC 19 на 1118-S-1200 10 STO 19.

1. Замена клапана подачи газов в реактор PM1 R10.
2. На вакуумном насосе робота заменил лопатки, внутренний и внешний фильтр. Вакуум был 61 kPa стало 82 kPa.
3. Замена датчика PNOZ Баратрон камерный РМ2 PSH410 B4855.4

13.05.21 Паллету развернуло на слоте 4 вил при выезде из РМ1. id паллеты -0675 , кассета 5.

Произвели замену всех пинов в РМ1 на оригинальные. Слили воду с охлаждения стэка LL, поставили перемычку на модуле PILZ A814.3 (14 и 15 контакты). Замерили позиции стэка по высоте, а также по вращению (разница по вращению 3 мм). Поставил на место втулку направляющей на приводе стэка. Транспортный тест с пустыми паллетами. Поджали реакторные затворы РМ1. PM1 = 20,42

10.05.21 Паллету развернуло на слоте 1 вил при заезде в LL из TM. Кассета 121.

РМ1: R1 - 1.1 кривой пин, замена.

09.05.21 Течь сильфона привода затворов РМ1 (№2)

РМ1: R3 кривой пин 4.1, заменили все 16 пинов на ONELEK. Замена сильфона привода затворов (второй)

06.05.21 - Паллету развернуло на слоте 7 вил при заезде в РМ1 из РМ2. id паллеты - 600.

Ремонт: РМ1: R7 заменили пины 3,1; 3,4; 4,1; 4,4. РМ2: R7 поправили планку 4.
Заменили вилу внутреннего манипулятора ТМ, слот 7, РМ1: R7 заменили камерный затвор

02.05.21 - Осталась паллета РМ1 Р7.

Ремонт: РМ1: R1 4.2 - кривой, заменили все 16 пинов на ONELEK, R4 4.2 кривой, заменили все 16 пинов на ONELEK, R7 1.4 - сломан, заменили все 16 пинов на ONELEK, Заменили реакторный затвор (7 реактор), Поджали реакторные затворы РМ1 на 5 мм

19.04.21 - Течь сильфона №4

Замена сильфона №4, также замена сильфона №6, Ремонт РМ1: R9 пин 4.1, 4.2, 1.4, 2.2, замена шлангов охлаждения PM1, замена реактора 5 РМ1 863-S-1200-08 на 830-S-1200-08

17.04.21 - Порвался ремень привода внутреннего манипулятора ТМ.

07.04.21 - Осталась паллета в реакторе 1 РМ1 (id паллеты 0546).

Ремонт: РМ1: R1 пин 1.1 замена; R9 пин 4.4 сломан, замена, РМ3: R1 пин 2.2 замена, РМ 2-3 замена шлангов на воду от РМ до теплообменника.

03.04.21 - Паллета осталась в R6 PM1. id паллеты - 0529.

Ремонт: РМ1: R10 замена реактора + титановая планка №4, R6 замена пинов 1.1, 1.2, 1.3, 2.4, 3.1, 3.4, 4.2, 4.3, 4.4, R5 замена пинов 4.2, 1.3, 1.4, 2.4, 3.2, 3.4. РМ3: R5 замена керамической планки №4, замена пинов 2.4, 3.1, 4.1, 4.2

01.04.21 - Паллеты развернуло на слоте 7, 9 вил при выезде из РМ1 в LL.

На направляющих вылетели со своих мест 3 втулки из 4-х. Из-за этого создавался круговой люфт по оси привода. От этого под вакуумом паллеты грузило из LL в ТМ со смещением на 7 и 9 слотах. После ремонта провели транспортный тест под вакуумом LL-TM-PM2-PM1-PM3-PM1-LL. Отклонений не выявлено.

28.03.21 - Паллеты развернуло на слотах 9 и 7 вил при заезде в LL из РМ1.

Ремонт: РМ1: R5: кривой пин 4.2, R9 кривой пин 4.4, R10 кривой пин 4.4

25.03.21 - Смещение паллеты при выезде РМ1 Р7

23.03.21 - Останов завода на ТО

19.03.21 - Замена сильфона №6 Течь,

Ремонт: РМ1: R5 пин 4.4 сломан, заменили, РМ2: R9 планка №4 сломана - заменили, замена пинов (2,4, 3,4, 4,2, 4,3, 4,4)

03.03.21 - Течь сильфона затворов №3, 5

РЕМОНТ: РМ1: R8 - замена пина 4.4, R4 -замена пина 4.4, R2 - замена пина 4.4; замена керамических планок на титановые. РМ2: замена сильфона привода затворов №3. РМ3: замена сильфона привода затворов №5

Ранее до этого:

1. Заменили радиальные направляющие внутреннего манипулятора
2. Заменили двигатель на вращение внутреннего манипулятора
3. Изменили параметр #153 NotchFilterFreq1 Было 270, стало 100. Данный параметр отвечает за границы режекторного фильтра (это из интернета) - встроенное высокочастотное подавление резонанса (подавление механических вибраций).

Система конструкции внутреннего манипулятора и двигателя (двигатель передает движение напрямую на ВМ без редуктора - находиться на оси вращения ВМ) входила в механический резонанс и из-за этого возникали неуправляемые вибрации и скрежет.

28.12.20 На РМ2 поменяли датчик давления TPR 281 Камерный PSH409. Настроили пороги (верх. с 6,5 до 5,95, нижний с 6,3 до 5,7)

В РМ1 со стороны ТМ на планки установлены ограничительные скобы от вылета с пазов. См. Отчет о проделанных работах Ч.1, Ч.2, Ч.3

29.07.20 Заменили отсечной вакуумный затвор РМ1 YV422 реакторный Dn 250

11.11.20 Настроили PNOZ Камерный РМ2. Уставки были сильно завышены, текущая уставка TPR281 - 5.9В.

07.11.20 При чистке фильтров насосов затопили клапан-бабочку РМ1- заменили, заменили кабель с концевиками отсечного камерного затвора РМ1, процессный баратрон РМ1, камерный баратрон РМ2, баратрон PNOZ РМ2, процессный баратрон РМ2 - поставили тип 628Х1 вместо 631.